[实用新型]一种硅片切割用夹持装置

权利要求书

1.一种硅片切割用夹持装置，包括架体(1)、激光切割机(16)、伸缩气缸(22)和气泵(3)，其特征在于：所述架体(1)包括底座(11)、支撑板(12)、转板(13)、固定板(14)、固定环(15)和限位块(17)，所述底座(11)的表面固定连接有支撑板(12)，所述支撑板(12)的顶端活动连接有转板(13)，所述底座(11)的上表面固定连接有固定板(14)，所述固定板(14)的表面通过螺栓固定连接有固定环(15)，所述底座(11)的内侧固定连接有限位块(17)，所述底座(11)的上表面滑动连接有切割台(2)，所述切割台(2)的表面活动连接有转柄(21)，所述伸缩气缸(22)的底端滑动连接有调节槽(23)，所述切割台(2)的底端固定连接有移动块(24)，所述切割台(2)的表面开设有移动槽(25)，所述移动槽(25)的表面滑动连接有夹杆(26)，所述夹杆(26)的表面固定连接有螺纹杆(261)，所述夹杆(26)的外表面固定连接有夹盘(27)，所述夹盘(27)的表面固定连接有弹簧(271)，所述弹簧(271)的底端固定连接有夹板(272)，所述夹杆(26)表面套接有螺套(28)，所述螺套(28)的内侧固定连接有螺纹槽(281)，所述夹杆(26)的底端活动连接有转筒(29)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割用夹持装置，其特征在于：所述支撑板(12)呈两组连接在底座(11)的表面，所述转板(13)和支撑板(12)一一对应连接，所述固定环(15)的表面呈圆弧形，且固定环(15)的尺寸和激光切割机(16)的尺寸吻合，所述限位块(17)呈两组分布在底座(11)的内侧。

3.根据权利要求1所述的一种硅片切割用夹持装置，其特征在于：所述切割台(2)呈两组连接在移动块(24)的表面，所述转柄(21)分布在转柄(21)两个相邻的表面上，所述调节槽(23)呈网格状分布在切割台(2)的底端，所述移动块(24)在底座(11)表面的滑槽内连接，所述伸缩气缸(22)连接在切割台(2)的两侧，所述伸缩气缸(22)一组固定在切割台(2)的表面，所述伸缩气缸(22)一组连接在调节槽(23)内，且和转柄(21)连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片切割用夹持装置，其特征在于：所述移动槽(25)呈网格状分布在切割台(2)的表面，且移动槽(25)和调节槽(23)的位置对应，所述夹杆(26)通过转筒(29)和伸缩气缸(22)连接，所述夹盘(27)呈圆形，所述夹盘(27)和夹杆(26)的偏心连接，所述螺纹杆(261)和螺纹槽(281)啮合连接，所述转筒(29)的两端分别连接在夹杆(26)的底端和伸缩气缸(22)的输出端。

5.根据权利要求1所述的一种硅片切割用夹持装置，其特征在于：所述转板(13)的内侧固定连接有气泵(3)，所述气泵(3)的一端固定连接有吸气管(31)，所述转板(13)的表面固定连接有支撑杆(32)，所述支撑杆(32)的表面固定连接有吸盘(33)，所述气泵(3)的另一端固定连接有出气管(34)，所述出气管(34)的表面固定连接有伸缩管(35)，所述出气管(34)的一端固定连接有连接盘(36)，所述底座(11)的表面固定连接有放置台(37)，所述切割台(2)的表面开设有气孔(38)。

6.根据权利要求5所述的一种硅片切割用夹持装置，其特征在于：所述吸气管(31)和吸盘(33)连接，所述吸盘(33)的表面呈圆盘性，所述出气管(34)连接在支撑板(12)的内侧，所述伸缩管(35)连接在出气管(34)的中部，所述连接盘(36)的表面开设有孔，且连接盘(36)上的孔和气孔(38)一一对应连接，所述气孔(38)就均匀分布在切割台(2)的表面。