[实用新型]一种电控一体的可移动单晶炉下炉室

权利要求书

1.一种电控一体的可移动单晶炉下炉室，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的下表面固定安装有滚轮（2），且底座（1）的上表面竖直焊接有限位板（3），所述限位板（3）内固定安装有单晶炉本体（11），所述单晶炉本体（11）包括上炉盖（5）和下炉室（8），所述上炉盖（5）的外表面依次固定安装有进气管道（6）和进料口（7），所述下炉室（8）外表面靠近上炉盖（5）的位置设置有警报器（4），所述警报器（4）的下侧分散设置有固定安装在下炉室（8）外表面上的控制面板（9）和观察窗（10）。

2.根据权利要求1所述的电控一体的可移动单晶炉下炉室，其特征在于，所述观察窗（10）采用的是耐高温的透明玻璃材料。

3.根据权利要求1所述的电控一体的可移动单晶炉下炉室，其特征在于，所述限位板（3）内表面呈弧形状，且与单晶炉本体（11）表面弧度相契合。

4.根据权利要求1所述的电控一体的可移动单晶炉下炉室，其特征在于，所述下炉室（8）包括壳体（81），所述壳体（81）的内壁两侧对称设置有第一固定块（82），两个第一固定块（82）的另一端均铰接有导流板（83），所述两个第一固定块（82）的下侧均设置有固定在壳体（81）上的液压缸（84），且液压缸（84）的一端与导流板（83）铰接，所述壳体（81）内部设有石英坩埚（87），石英坩埚（87）下侧设有石墨坩埚（86），用于支撑着石英坩埚（87），所述石英坩埚（87）的下侧连接有坩埚托盘（816），坩埚托盘（816）下端连接有坩埚轴（810），坩埚轴（810）外侧套有托杆护套（89）。

5.根据权利要求4所述的电控一体的可移动单晶炉下炉室，其特征在于，所述壳体（81）底端内侧设有石墨碳毡（813），石墨碳毡（813）中部贯穿坩埚轴（810），坩埚轴（810）的两侧设置有出气孔（811），且每个出气孔（811）的相背一侧均设置有电极柱（814），电极柱（814）外侧连接有电极护套（812），电极柱（814）的上端连接有加热器（85），加热器（85）的底端通过电极螺栓（815）与电极柱（814）固接。

6.根据权利要求4所述的电控一体的可移动单晶炉下炉室，其特征在于，所述液压缸（84）包括伸缩杆（841），所述伸缩杆（841）的一端铰接在液压缸（84）表面，且另一端固定连接有滑块（843），所述导流板（83）内部开设有与滑块（843）相匹配的滑槽（842）。

7.根据权利要求5所述的电控一体的可移动单晶炉下炉室，其特征在于，所述进气管道（6）包括管体（62），所述管体（62）上端设置有进气口（61），且管体（62）内部设置有吸气机（63），所述吸气机（63）通过固定在管体（62）内壁上的第二固定块（67）固接，所述吸气机（63）的输出端固定连接有过滤室（64），且过滤室（64）的下端固定连接有出气口（65）。

8.根据权利要求7所述的电控一体的可移动单晶炉下炉室，其特征在于，所述下炉室（8）的内部设置有气压传感器（88），且气压传感器（88）的输出端与控制面板（9）的输入端相连，控制面板（9）的输出端分别与警报器（4）和吸气机（63）的输入端相连。

9.根据权利要求5所述的电控一体的可移动单晶炉下炉室，其特征在于，所述加热器（85）的输出端与控制面板（9）的输入端相连。