[实用新型]一种电控一体的可移动单晶炉下炉室

说明书

本实用新型公开了一种电控一体的可移动单晶炉下炉室，包括底座，底座的下表面固定安装有滚轮，且底座的上表面竖直焊接有限位板，限位板内固定安装有单晶炉本体，单晶炉本体包括上炉盖和下炉室，上炉盖的外表面依次固定安装有进气管道和进料口，下炉室外表面靠近上炉盖的位置设置有警报器，警报器的下侧分散设置有固定安装在下炉室外表面上的控制面板和观察窗。本实用新型的有益效果是：方便了对单晶炉本体进行移动，节约了劳动力，节省了时间，通过设置导流板和液压缸可以有效的通过伸缩杆的作用控制进料量的大小，降低了材料的浪费，节约了使用成本，大大提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及一种下炉室，具体为一种电控一体的可移动单晶炉下炉室，属于单晶硅生产制造技术领域。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉的生产工艺流程一般如下：先将一定量的多晶硅原料放入坩埚中，加热至熔化，在拉杆下端装夹籽晶，沉浸到熔化的晶体原料中，将拉杆缓缓向上提拉，同时缓慢旋转，最终生长出圆柱体形状的单晶硅棒。

现有的单晶炉下炉室存在多种问题，其一、现有的单晶炉下炉室不方便移动，在需要使用的时候，往往需要多个人去搬，浪费了大量的人力，其二、现有的下炉室无法对进料量和进料速度进行控制，往往需要通过人工进行控制，使用起来很不方便，其三、现有的下炉室大多数无法实现电控一体化，操作起来很麻烦。

发明内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述不便于移动，使用麻烦的问题而提供一种电控一体的可移动单晶炉下炉室。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：一种电控一体的可移动单晶炉下炉室，包括底座，所述底座的下表面固定安装有滚轮，且底座的上表面竖直焊接有限位板，所述限位板内固定安装有单晶炉本体，所述单晶炉本体包括上炉盖和下炉室，所述上炉盖的外表面依次固定安装有进气管道和进料口，所述下炉室外表面靠近上炉盖的位置设置有警报器，所述警报器的下侧分散设置有固定安装在下炉室外表面上的控制面板和观察窗。

作为本实用新型再进一步的方案：所述观察窗采用的是耐高温的透明玻璃材料。

作为本实用新型再进一步的方案：所述限位板内表面呈弧形状，且与单晶炉本体表面弧度相契合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述下炉室包括壳体，所述壳体的内壁两侧对称设置有第一固定块，两个第一固定块的另一端均铰接有导流板，所述两个第一固定块的下侧均设置有固定在壳体上的液压缸，且液压缸的一端与导流板铰接，所述壳体内部设有石英坩埚，石英坩埚下侧设有石墨坩埚，用于支撑着石英坩埚，所述石英坩埚的下侧连接有坩埚托盘，坩埚托盘下端连接有坩埚轴，坩埚轴外侧套有托杆护套。

作为本实用新型再进一步的方案：所述壳体底端内侧设有石墨碳毡，石墨碳毡中部贯穿坩埚轴，坩埚轴的两侧设置有出气孔，且每个出气孔的相背一侧均设置有电极柱，电极柱外侧连接有电极护套，电极柱的上端连接有加热器，加热器的底端通过电极螺栓与电极柱固接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述液压缸包括伸缩杆，所述伸缩杆的一端铰接在液压缸表面，且另一端固定连接有滑块，所述导流板内部开设有与滑块相匹配的滑槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述进气管道包括管体，所述管体上端设置有进气口，且管体内部设置有吸气机，所述吸气机通过固定在管体内壁上的第二固定块固接，所述吸气机的输出端固定连接有过滤室，且过滤室的下端固定连接有出气口。

作为本实用新型再进一步的方案：所述下炉室的内部设置有气压传感器，且气压传感器的输出端与控制面板的输入端相连，控制面板的输出端分别与警报器和吸气机的输入端相连。

作为本实用新型再进一步的方案：所述加热器的输出端与控制面板的输入端相连。