[实用新型]一种具有水平校准的半导体有效
申请号: | 202021371104.0 | 申请日: | 2020-07-13 |
公开(公告)号: | CN212625529U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 李俊毅;陈舜钦;姚恒裕 | 申请(专利权)人: | 福建安芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683 |
代理公司: | 泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙) 35238 | 代理人: | 易敏 |
地址: | 362300 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 水平 校准 半导体 | ||
1.一种具有水平校准的半导体,其特征在于:包括半导体主体(1)、水平调节装置(2)、半导体格(3)和切割槽(4),半导体主体(1)中部贯穿扣接有水平调节装置(2),半导体格(3)均匀设于半导体主体(1)上,半导体格(3)之间设有切割槽(4);
水平调节装置(2)包括单向卡板(a)、顶压连板(b)、平衡装配头(c)、解锁顶压杆(d)、倾斜顶压杆(e)、校准控制板(f)、控制槽(g)、吸盘(h)、水平校准顶板(i)、解锁顶压槽(j)和限位边条(k),平衡装配头(c)内侧上方扣接有校准控制板(f),校准控制板(f)顶端中部设有控制槽(g),校准控制板(f)底端左侧与倾斜顶压杆(e)顶端固定连接,水平校准顶板(i)前后两端上方均固定连接有限位边条(k),水平校准顶板(i)设于平衡装配头(c)内部下方,水平校准顶板(i)顶端左侧与倾斜顶压杆(e)底端相接,顶压连板(b)镶嵌设于平衡装配头(c)内部下方,顶压连板(b)位于水平校准顶板(i)与平衡装配头(c)外侧之间,顶压连板(b)鱼单向卡板(a)一端固定连接,单向卡板(a)另一端贯穿平衡装配头(c)与半导体主体(1)扣接,顶压连板(b)上设有解锁顶压槽(j),解锁顶压杆(d)贯穿平衡装配头(c)顶端与解锁顶压槽(j)相接,吸盘(h)设于平衡装配头(c)底端中部,吸盘(h)与平衡装配头(c)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种具有水平校准的半导体,其特征在于:所述平衡装配头(c)为凸字形圆柱体。
3.根据权利要求1所述的一种具有水平校准的半导体,其特征在于:所述顶压连板(b)设有4个,4个顶压连板(b)成均匀设于平衡装配头(c)内4侧,单向卡板(a)、解锁顶压杆(d)、解锁顶压槽(j)对应顶压连板(b)设有4个。
4.根据权利要求1所述的一种具有水平校准的半导体,其特征在于:所述单向卡板(a)贯穿平衡装配头(c)处为三角形斜面,单向卡板(a)斜面朝向贯穿平衡装配头(c)处上方。
5.根据权利要求1所述的一种具有水平校准的半导体,其特征在于:所述水平校准顶板(i)为半圆环弧形板,水平校准顶板(i)顶端为从一端到另一端均匀递增的斜面。
6.根据权利要求1所述的一种具有水平校准的半导体,其特征在于:所述顶压槽(j)右端为三角形槽,顶压槽(j)右端的三角形槽斜面与单向卡板(a)的斜面朝向一致,顶压槽(j)的三角形槽长度比单向卡板(a)的斜面长。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造