[实用新型]一种缺陷定位装置和缺陷定位系统

说明书

本实用新型提供一种缺陷定位装置和缺陷定位系统。缺陷定位装置包括：夹具，用于固定待检测产品；定位传感器，与所述夹具固定连接，所述定位传感器用于检测所述夹具的姿态信息；控制开关，与所述定位传感器电连接，所述控制开关用于向所述定位传感器输出控制所述定位传感器记录检测到的姿态信息的控制信号。本实用新型实施例提供的缺陷定位装置用于在目视检测产品缺陷过程中对产品存在的缺陷进行标记，使用过程中，可以通过定位传感器对缺陷定位装置的姿态进行检测，进一步通过操作控制开关实现对于缺陷的记录，从而能够快捷准确的实现对于产品缺陷的定位和记录，有助于提高检测效率。

技术领域

本实用新型涉及检测技术领域，尤其涉及一种缺陷定位装置和缺陷定位系统。

背景技术

相关技术中，半导体的加工过程大致分为拉晶、成型、抛光、清洗等步骤，而在每段工序中，又会涉及十数种设备。由于每台设备之间都是相互独立，所以半导体加工过程中需要进行频繁的运载，在运载过程中，不可避免的会造成硅片的外表面损伤，具体可能是正面、背面和边缘处出现损伤。

相关技术中，主要通过目测对半导体的损伤进行初步检测，然后由工作人员进行登记，以便后续进行进一步的检测。然而这种检测方式操作相对复杂。

发明内容

本实用新型实施例提供一种缺陷定位装置和缺陷定位系统，以解决现有对于半导体上缺陷定位复杂的问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种缺陷定位装置，包括：

夹具，用于固定待检测产品；

定位传感器，与所述夹具固定连接，所述定位传感器用于检测所述夹具的姿态信息；

控制开关，与所述定位传感器电连接，所述控制开关用于向所述定位传感器输出控制所述定位传感器记录检测到的姿态信息的控制信号。

可选的，所述定位传感器包括陀螺仪和加速度计中的一种或多种。

可选的，所述控制开关的数量为多个，多个所述控制开关分别用于输出不同缺陷对应的所述控制信号。

可选的，所述缺陷定位装置还包括复位开关，所述复位开关与所述定位传感器电连接，所述复位开关用于向所述定位传感器提供使数据初始化的信号。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种缺陷定位系统，包括检测光源和以上任一项所述的缺陷定位装置。

可选的，还包括底座，所述底座上方形成检测区，所述检测光源固定于所述底座上，且朝向所述检测区设置。

可选的，所述检测光源为光照度不小于40万勒克斯的平行光源。

可选的，所述底座上设置有初始化位置标识，所述初始化位置标识用于标识所述缺陷定位装置的初始位置。

可选的，所述初始化位置标识包括与所述缺陷定位装置相匹配的容纳槽，所述容纳槽用于容纳所述缺陷定位装置以确定所述缺陷定位装置处于所述初始位置。

本实用新型实施例提供的缺陷定位装置用于在目视检测产品缺陷过程中对产品存在的缺陷进行标记，使用过程中，可以通过定位传感器对缺陷定位装置的姿态进行检测，进一步通过操作控制开关实现对于缺陷的记录，从而能够快捷准确的实现对于产品缺陷的定位和记录，有助于提高检测效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。

图1是本实用新型一实施例提供的缺陷定位装置的结构示意图；