[实用新型]一种高纯锗单晶炉拉制装置有效
申请号: | 202021389289.8 | 申请日: | 2020-07-15 |
公开(公告)号: | CN213037876U | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 唐安泰;李建平 | 申请(专利权)人: | 昆明汇泉高纯半导材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 650300 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高纯 锗单晶炉 拉制 装置 | ||
1.一种高纯锗单晶炉拉制装置,包括安装板(1),其特征在于:所述安装板(1)顶部的左侧贯穿设置有钼杆(14),所述钼杆(14)的底部固定连接有螺纹钼杆(19),所述螺纹钼杆(19)的表面螺纹连接有石英杆(13),所述钼杆(14)的两侧均开设有凹槽(16),所述凹槽(16)内壁的底部贯穿设置有卡销(18),所述石英杆(13)顶部的两侧均开设有卡槽(17),所述卡销(18)的底部延伸至卡槽(17)的内腔并与其内壁活动连接,所述石英杆(13)的底部开设有固定槽(9),所述固定槽(9)内壁的顶部固定连接有螺纹石英杆(12),所述螺纹石英杆(12)的表面螺纹连接有石英管(10),所述石英管(10)内壁的底部贯穿设置有锗籽晶(11),所述安装板(1)底部的右侧固定连接有固定管(4),所述固定管(4)的底部固定连接有壳体(7),所述壳体(7)内腔的底部固定连接有电机(8),所述电机(8)的输出轴延伸至固定管(4)内腔的底部并固定连接有螺纹杆(3),所述螺纹杆(3)的表面螺纹连接有螺纹管(2),所述螺纹管(2)两侧的底部均固定连接有限位杆(6),所述固定管(4)内壁的两侧均开设有限位槽(5),所述限位杆(6)远离螺纹管(2)的一端延伸至限位槽(5)的内腔并与其内壁活动连接,所述螺纹管(2)的顶部延伸至安装板(1)的顶部并固定连接有连接板(15),所述钼杆(14)的顶部与连接板(15)底部的左侧固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种高纯锗单晶炉拉制装置,其特征在于:所述石英杆(13)的顶部开设有与螺纹钼杆(19)配合使用的螺纹槽(20),所述卡销(18)的直径与卡槽(17)的内径相适配。
3.根据权利要求1所述的一种高纯锗单晶炉拉制装置,其特征在于:所述石英管(10)的直径与固定槽(9)的内径相适配,所述石英管(10)的表面与固定槽(9)的内壁活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种高纯锗单晶炉拉制装置,其特征在于:所述固定管(4)的顶部与安装板(1)的右侧均开设有与螺纹管(2)配合使用的活动孔,所述螺纹管(2)的表面与活动孔的内壁活动连接。
5.根据权利要求1所述的一种高纯锗单晶炉拉制装置,其特征在于:所述壳体(7)的顶部与固定管(4)的底部均开设有通孔,且通孔的内壁设置有轴承,所述电机(8)的输出轴与轴承过盈配合。
6.根据权利要求1所述的一种高纯锗单晶炉拉制装置,其特征在于:所述壳体(7)的右侧固定安装有控制器,且控制器的输出端与电机(8)的输入端电性连接。
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