[实用新型]一种带有废料清理的光刻机

权利要求书

1.一种带有废料清理的光刻机，其特征在于，包括：机箱(15)、光源(1)以及废料麻袋(16)，所述机箱(15)顶端安装有光源(1)，所述光源(1)底端安装有掩膜板(2)，所述掩膜板(2)底端安装有第一棱镜(3)，所述第一棱镜(3)底端安装有第二棱镜(4)，所述第二棱镜(4)底端安装有物镜(5)，所述物镜(5)底端安装有曝光台(6)，所述曝光台(6)一侧开设有进风口(7)，所述曝光台(6)另一侧安装有进风管(9)，所述进风管(9)底端安装有废料箱(11)，所述废料箱(11)两侧开设有出风口(12)。

2.根据权利要求1所述的一种带有废料清理的光刻机，其特征在于：所述机箱(15)底端一侧安装有取渣门(14)，所述取渣门(14)内部一侧均匀开设有通气孔(13)。

3.根据权利要求1所述的一种带有废料清理的光刻机，其特征在于：所述废料箱(11)顶端安装有进风管(9)，所述进风管(9)底端套接安装有固定扣(10)，所述固定扣(10)底端连接有废料麻袋(16)，所述废料麻袋(16)置放于废料箱(11)内部。

4.根据权利要求2所述的一种带有废料清理的光刻机，其特征在于：所述曝光台(6)固定焊接有挡风板(8)。

5.根据权利要求2所述的一种带有废料清理的光刻机，其特征在于：所述第一棱镜(3)的截面呈倒三角形，所述第二棱镜(4)的截面呈V字型开口的矩形，所述倒三角形的顶角角度与V字型开口的角度相等。

6.根据权利要求2所述的一种带有废料清理的光刻机，其特征在于：所述第一棱镜(3)的形状为倒锥体，所述第二棱镜(4)的形状为漏斗柱。

7.根据权利要求2所述的一种带有废料清理的光刻机，其特征在于：所述第一棱镜(3)和第二棱镜(4)都呈柱体。