[实用新型]一种具有散热和冷却功能的加热基座有效
申请号: | 202021401933.9 | 申请日: | 2020-07-16 |
公开(公告)号: | CN212770952U | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 权太植;朱东海;余波;蔡广云 | 申请(专利权)人: | 合肥微睿光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/46;C23C16/54;C23C16/52;F25D17/02 |
代理公司: | 合肥超通知识产权代理事务所(普通合伙) 34136 | 代理人: | 余红 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 散热 冷却 功能 加热 基座 | ||
1.一种具有散热和冷却功能的加热基座,包括有基座本体,所述的基座本体包括有加热板和固定连接在所述加热板背面的冷却板,所述的加热板内设置有加热器,加热板的背面固定连接有支撑管,所述加热器的接线从所述支撑管内引出,所述的支撑管穿过所述冷却板后引出,其特征在于:所述的冷却板包括有基板和一体连接在所述基板背面的多个散热翅片,相邻二个散热翅片之间具有散热通道,每个散热翅片的一端自后向前分别依次设有冷却液进口和冷却液出口,每个散热翅片的内部分别设有连通其冷却液进口与冷却液出口的冷却液通道,所述的冷却液通道沿所在散热翅片的长度方向设置;
所述的冷却液进口和冷却液出口分别对应连接有进冷却液管和出冷却液管,所述的进冷却液管和出冷却液管中分别安装有电磁阀,所述加热板的背面分别设有多个凹槽,所述的多个凹槽内分别安装有温度传感器;还包括有控制器,所述的控制器分别与所述温度传感器和电磁阀电连接。
2.根据权利要求1所述的一种具有散热和冷却功能的加热基座,其特征在于:所述的加热板与所述冷却板之间设置有由导热材料制成的导热片。
3.根据权利要求1所述的一种具有散热和冷却功能的加热基座,其特征在于:所述的多个散热翅片等间距的分布于所述基板的背面,且每个散热翅片自前向后分别呈逐渐收缩状,每个散热翅片的截面分别呈梯形。
4.根据权利要求1所述的一种具有散热和冷却功能的加热基座,其特征在于:所述的冷却液通道包括有自相对应的冷却液进口向所在散热翅片的另一端延伸的后冷却液流道和自所在散热翅片的另一端向相对应的冷却液出口延伸的前冷却液流道,所述的后冷却液流道与前冷却液流道在所在散热翅片内部的另一端相连接;所述的冷却液通道在所在散热翅片的内部呈U形设置。
5.根据权利要求1所述的一种具有散热和冷却功能的加热基座,其特征在于:所述的温度传感器分别采用贴片式温度传感器,分别紧贴在所在凹槽的底面上。
6.根据权利要求1所述的一种具有散热和冷却功能的加热基座,其特征在于:所述的控制器采用PLC。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的