[实用新型]一种具有散热和冷却功能的加热基座

说明书

本实用新型公开了一种具有散热和冷却功能的加热基座，包括有加热板、冷却板、加热器和支撑管，冷却板包括有基板和多个散热翅片，每个散热翅片的一端自后向前分别依次设有冷却液进、出口，并分别对应连接有进、出冷却液管，每个散热翅片的内部分别设有冷却液通道；进、出冷却液管中分别安装有电磁阀，加热板的背面分别设有多个凹槽并分别安装有温度传感器；还包括有控制器，控制器分别与温度传感器和电磁阀电连接。本实用新型能够对加热板进行散热和冷却，且各区域冷却均匀，保证了整体冷却效果，并且根据加热板的不同工况采用自然冷却方式或通入冷却液(水)冷却的方式对加热板进行冷却，在保证冷却效果的前提下节约了资源。

技术领域

本实用新型涉及液晶面板制造设备用基座技术领域，具体是一种具有散热和冷却功能的加热基座。

背景技术

加热基座在工业加工生产中应用比较广泛，尤其在液晶面板制造领域，往往需要在玻璃基板上实施薄膜沉积或者刻蚀的工艺，此工艺一般需要采用加热基座来提供一定的热量，以满足实施薄膜沉积或者刻蚀的工艺所需的温度条件。

传统的加热基座就是一块内部设置有加热器件的加热板，往往只具有加热的功能，只能通过自散热和自然冷却的方式来降温，速度慢，效果差，在进行加热工作后不能很快的恢复到正常温度，使得加热基座长时间处于高温的环境下，会影响到加热基座的使用寿命。

为此，对传统的加热基座进行了改进，即在现有加热板的背面固定连接与其形状、大小均相同的一个冷却板，在冷却板的内部设置冷却管，在需要对加热板进行散热或降温时，通入冷却液(水)，通过热交换的方式“带走”加热板所散发的热量。为了增加与加热板的接触面积，即有效换热面积，冷却管在冷却板内往往以某种设定的路径或轨迹进行布设，其布设路径一般呈S形或“回”字形等，冷却液在冷却管中以这种设定的路径或轨迹流动，这样容易造成靠近或接近冷却管进口端的区域冷却效果较好，而不靠近或远离冷却管进口端的区域冷却效果较差，造成冷却不均匀的情况，影响到整体冷却效果。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的缺陷和不足，提供一种具有散热和冷却功能的加热基座，既能够对加热过程中的加热板进行散热，以保证加热板的正常工作，又能够对停止工作的加热板进行冷却，使其降至常温，且各区域冷却均匀，以保证整体冷却效果，并且根据加热板的不同工况采用自然冷却方式或通入冷却液(水)冷却的方式对加热板进行冷却，在保证冷却效果的前提下来节约资源。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种具有散热和冷却功能的加热基座，包括有基座本体，所述的基座本体包括有加热板和固定连接在所述加热板背面的冷却板，所述的加热板内设置有加热器，加热板的背面固定连接有所述加热器的接线的支撑管，所述加热器的接线从所述支撑管内引出，所述的支撑管穿过所述冷却板后引出，其特征在于：所述的冷却板包括有基板和一体连接在所述基板背面的多个散热翅片，相邻二个散热翅片之间具有散热通道，每个散热翅片的一端自后向前分别依次设有冷却液进口和冷却液出口，每个散热翅片的内部分别设有连通其冷却液进口与冷却液出口的冷却液通道，所述的冷却液通道沿所在散热翅片的长度方向设置；

所述的冷却液进口和冷却液出口分别对应连接有进冷却液管和出冷却液管，所述的进冷却液管和出冷却液管中分别安装有电磁阀，所述加热板的背面分别设有多个凹槽，所述的多个凹槽内分别安装有温度传感器；还包括有控制器，所述的控制器分别与所述温度传感器和电磁阀电连接。

进一步的，所述的加热板与所述冷却板之间设置有由导热材料制成的导热片。

进一步的，所述的多个散热翅片等间距的分布于所述基板的背面，且每个散热翅片自前向后分别呈逐渐收缩状，每个散热翅片的截面分别呈梯形。