[实用新型]籽晶夹头有效
申请号: | 202021409306.X | 申请日: | 2020-07-16 |
公开(公告)号: | CN213203275U | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 陈翼;黄末;刘奇 | 申请(专利权)人: | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 蔡梦媚 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 籽晶 夹头 | ||
1.一种籽晶夹头(100),其特征在于,所述籽晶夹头(100)适于夹持籽晶(101),所述籽晶(101)包括第一部分(1011)和第二部分(1012),所述第一部分(1011)形成为柱状结构,且所述第一部分(1011)的外周壁上具有配合凸起(1011a),所述第二部分(1012)沿所述第一部分(1011)的轴向延伸且连接在所述第一部分(1011)的下侧,所述籽晶夹头(100)包括:
套筒部(1),所述套筒部(1)内限定出夹持腔(10),所述夹持腔(10)的壁面上形成有配合卡槽(10a),所述配合卡槽(10a)的底壁适于支撑在所述配合凸起(1011a)的底部;
底座部(2),所述底座部(2)固设于所述套筒部(1)的底端,所述底座上形成有穿孔(20),所述第二部分(1012)适于穿设于所述穿孔(20),以使所述底座部(2)适于支撑在所述第一部分(1011)的底部。
2.根据权利要求1所述的籽晶夹头(100),其特征在于,所述套筒部(1)形成为圆筒结构,所述配合卡槽(10a)构造成适于限制所述配合凸起(1011a)在所述套筒部(1)的周向上的移动。
3.根据权利要求2所述的籽晶夹头(100),其特征在于,所述配合凸起(1011a)包括限位部(1011b),所述配合卡槽(10a)包括:
限位槽部(10b),所述限位槽部(10b)适于与所述限位部(1011b)配合,所述限位槽部(10b)在所述套筒部(1)周向上两侧的侧壁分别适于与所述限位部(1011b)止抵。
4.根据权利要求3所述的籽晶夹头(100),其特征在于,所述限位部(1011b)形成在所述配合凸起(1011a)的下部,所述配合卡槽(10a)还包括:
配合槽部(10c),所述配合槽部(10c)和所述限位槽部(10b)沿所述套筒部(1)的周向设置,且所述配合槽部(10c)与所述限位槽部(10b)沿所述套筒部(1)的周向连通,所述配合槽部(10c)的底壁间隔设在所述限位槽部(10b)的底壁的上方,所述配合凸起(1011a)适于在所述配合槽部(10c)内绕所述套筒部(1)的中心轴线转动,以使所述限位部(1011b)配合于所述限位槽部(10b)。
5.根据权利要求4所述的籽晶夹头(100),其特征在于,所述限位部(1011b)为多个,
所述配合槽部(10c)和所述限位槽部(10b)分别为多个,且多个所述配合槽部(10c)和所述限位槽部(10b)沿所述套筒部(1)的周向依次交替设置,每个所述配合槽部(10c)形成为弧形槽,所述限位槽部(10b)位于所述配合槽部(10c)的周向一端。
6.根据权利要求5所述的籽晶夹头(100),其特征在于,每个所述配合槽部(10c)和与其相邻的两个所述限位槽部(10b)中的其中一个沿所述套筒部(1)的周向连通,且和与其相邻的两个所述限位槽部(10b)中的另一个沿所述套筒部(1)的周向间隔设置。
7.根据权利要求6所述的籽晶夹头(100),其特征在于,
所述套筒部(1)包括第一本体部(11)和第二本体部(12),所述第二本体部(12)与所述第一本体部(11)沿所述套筒部(1)的径向扣合相连以限定出所述夹持腔(10),所述底座部(2)包括第一子底座部(21)和第二子底座部(22),所述第一子底座部(21)固设于所述第一本体部(11)的底端且与所述第一本体部(11)为一体件,所述第二子底座部(22)固设于所述第二本体部(12)的底端且与所述第二本体部(12)为一体件,所述第二子底座部(22)与所述第一子底座部(21)拼接配合以形成所述穿孔(20),
其中,所述配合槽部(10c)和所述限位槽部(10b)分别为两个,所述第一本体部(11)和所述第二本体部(12)上均形成有一个所述配合槽部(10c)和一个所述限位槽部(10b)。
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