[实用新型]籽晶夹头有效
申请号: | 202021409306.X | 申请日: | 2020-07-16 |
公开(公告)号: | CN213203275U | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 陈翼;黄末;刘奇 | 申请(专利权)人: | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 蔡梦媚 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 籽晶 夹头 | ||
本实用新型公开了一种籽晶夹头,籽晶夹头适于夹持籽晶,籽晶包括第一部分和第二部分,第一部分形成为柱状结构,且第一部分的外周壁上具有配合凸起,第二部分沿第一部分的轴向延伸且连接在第一部分的下侧,籽晶夹头包括套筒部和底座部,套筒部内限定出夹持腔,夹持腔的壁面上形成有配合卡槽,配合卡槽的底壁适于支撑在配合凸起的底部,底座部固设于套筒部的底端,底座上形成有穿孔,第二部分适于穿设于穿孔,以使底座部适于支撑在第一部分的底部。根据本实用新型的籽晶夹头,可以实现对籽晶的多重支撑限位,保证与籽晶稳定接触,避免了掉棒风险。
技术领域
本实用新型涉及晶体生长工艺技术领域,尤其是涉及一种籽晶夹头。
背景技术
相关技术中,籽晶夹头结构设计不合理,导致籽晶易脱离籽晶夹头而存在掉棒风险,影响生产。
实用新型内容
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提出一种籽晶夹头,所述籽晶夹头可以实现对籽晶的多重支撑限位,保证与籽晶稳定接触,避免了掉棒风险。
根据本实用新型的籽晶夹头,所述籽晶夹头适于夹持籽晶,所述籽晶包括第一部分和第二部分,所述第一部分形成为柱状结构,且所述第一部分的外周壁上具有配合凸起,所述第二部分沿所述第一部分的轴向延伸且连接在所述第一部分的下侧,所述籽晶夹头包括:套筒部,所述套筒部内限定出夹持腔,所述夹持腔的壁面上形成有配合卡槽,所述配合卡槽的底壁适于支撑在所述配合凸起的底部;底座部,所述底座部固设于所述套筒部的底端,所述底座上形成有穿孔,所述第二部分适于穿设于所述穿孔,以使所述底座部适于支撑在所述第一部分的底部。
根据本实用新型的籽晶夹头,在套筒部上设置配合卡槽以适于支撑籽晶夹头、且底座部适于支撑籽晶夹头,实现了籽晶夹头对籽晶的多重支撑限位,保证籽晶夹头与籽晶稳定接触,有效避免了掉棒风险。
在一些实施例中,所述套筒部形成为圆筒结构,所述配合卡槽构造成适于限制所述配合凸起在所述套筒部的周向上的移动。
在一些实施例中,所述配合凸起包括限位部,所述配合卡槽包括:限位槽部,所述限位槽部适于与所述限位部配合,所述限位槽部在所述套筒部周向上两侧的侧壁分别适于与所述限位部止抵。
在一些实施例中,所述限位部形成在所述配合凸起的下部,所述配合卡槽还包括:配合槽部,所述配合槽部和所述限位槽部沿所述套筒部的周向设置,且所述配合槽部与所述限位槽部沿所述套筒部的周向连通,所述配合槽部的底壁间隔设在所述限位槽部的底壁的上方,所述配合凸起适于在所述配合槽部内绕所述套筒部的中心轴线转动,以使所述限位部配合于所述限位槽部。
在一些实施例中,所述限位部为多个,所述配合槽部和所述限位槽部分别为多个,且多个所述配合槽部和多个所述限位槽部沿所述套筒部的周向依次交替设置,每个所述配合槽部形成为弧形槽,所述限位槽部位于所述配合槽部的周向一端。
在一些实施例中,每个所述配合槽部和与其相邻的两个所述限位槽部中的其中一个沿所述套筒部的周向连通,且和与其相邻的两个所述限位槽部中的另一个沿所述套筒部的周向间隔设置。
在一些实施例中,所述套筒部包括第一本体部和第二本体部,所述第二本体部与所述第一本体部沿所述套筒部的径向扣合相连以限定出所述夹持腔,所述底座部包括第一子底座部和第二子底座部,所述第一子底座部固设于所述第一本体部的底端且与所述第一本体部为一体件,所述第二子底座部固设于所述第二本体部的底端且与所述第二本体部为一体件,所述第二子底座部与所述第一子底座部拼接配合以形成所述穿孔,其中,所述配合槽部和所述限位槽部分别为两个,所述第一本体部和所述第二本体部上均形成有一个所述配合槽部和所述限位槽部。
在一些实施例中,所述第一部分的底壁上形成有对接凹槽,所述底座部的上表面上设有对接凸起,所述对接凸起适于配合于所述对接凹槽。
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