[实用新型]支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置

权利要求书

1.一种支撑装置，其特征在于，包括：支撑构件、吸附构件以及调节构件；

所述支撑构件具有容纳空间，所述容纳空间用于放置多面体光学元件；

所述吸附构件位于所述容纳空间内，并通过所述调节构件设置在所述支撑构件上，所述调节构件能够改变所述吸附构件相对所述多面体光学元件的位置，以使所述吸附构件能够固定所述多面体光学元件。

2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑构件包括第一支撑部以及第二支撑部；

所述第一支撑部为筒状结构，所述第二支撑部设置在所述第一支撑部的一端，以使所述第一支撑部与所述第二支撑部围设有所述容纳空间。

3.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述第一支撑部的轴向方向的第一端朝向第二端呈渐缩状；

所述第二支撑部设置在所述第一支撑部的第二端。

4.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述第一支撑部与所述第二支撑部上均间隔设置有多个所述吸附构件。

5.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述调节构件包括第一调节部以及第二调节部；

所述第一调节部穿过所述支撑构件并朝向所述容纳空间延伸形成有所述第二调节部。

6.根据权利要求5所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑构件上开设有通孔，所述通孔的内侧壁上设置有内螺纹；所述第一调节部的外侧壁上设置有外螺纹；

所述内螺纹与所述外螺纹相适配；

旋转位于所述容纳空间外的所述第一调节部的部分，以改变位于所述容纳空间内的所述第一调节部的部分的长度。

7.根据权利要求5所述的支撑装置，其特征在于，所述吸附构件包括吸附部，所述吸附部设置在所述第二调节部上，所述吸附部用于吸附所述多面体光学元件。

8.根据权利要求7所述的支撑装置，其特征在于，所述吸附构件还包括转动部；

所述转动部转动设置在所述第二调节部上，所述吸附部通过连接件设置在所述转动部上，以使所述吸附部能够相对所述第二调节部旋转。

9.一种多面体光学元件的面型检测装置，其特征在于，包括光准直器、干涉仪、调整机构、权利要求1至8中任一项所述的支撑装置；

所述支撑装置设置在所述调整机构的驱动端，驱动所述调整机构，以带动所述支撑装置转动；

所述光准直器和所述干涉仪沿第一方向间隔排布；

所述光准直器的发射信号垂直于所述多面体光学元件的待检测面且用于对所述多面体光学元件的待检测面找平校准；

所述干涉仪的发射信号垂直于找平校准后的所述多面体光学元件的待检测面，且用于检测所述待检测面的面型值。

10.根据权利要求9所述的多面体光学元件的面型检测装置，其特征在于，所述调整机构为五维度调整架，所述五维度调整架的型号为CM-920504M。