[实用新型]支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置

说明书

本申请涉及多面体光学元件检测设备技术领域，尤其是涉及一种支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置。支撑装置更适用于对非规则形状多面体光学元件的夹持，其中，支撑装置包括支撑构件、吸附构件以及调节构件，在实际应用过程中，所述支撑构件具有容纳空间，所述吸附构件位于所述容纳空间内，并通过所述调节构件设置在所述支撑构件上，所述吸附构件用于固定所述多面体光学元件。并利用吸附构件的吸附端吸附多面体光学元件，以此达到固定所述多面体光学元件的作用。

技术领域

本申请涉及多面体光学元件检测设备技术领域，尤其是涉及一种支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置。

背景技术

多面体光学元件各个组成面的面型的加工中需通过使用干涉仪测量每个面的面型值来辅助完成面型加工，通常规则六面体光学元件检测每个面的面型方法是将待测件放置在三维调整载物台上使待检测面几何中心靠近干涉仪出光口光路中心轴上，再通过简单调整三维载物台上待检测面位置与干涉仪出光窗口面倾角，使干涉仪出光窗口面与待检测面的平行，找到最佳干涉纹效果后测量得出面型值。

然而在实际检测过程中，多面体光学元件多数呈非规则形状，当将非规则形状的多面体光学元件放置在三维调整载物台上时，无法保证待检测面与干涉仪出光窗口面平行，最终导致面型值测试结果有误差。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置，在一定程度上解决了现有技术中因无法保证非规则形状的多面体光学元件的待检测面与干涉仪出光窗口平行的技术问题。

本申请提供了一种支撑装置，包括：支撑构件、吸附构件以及调节构件；

所述支撑构件具有容纳空间，所述容纳空间用于放置多面体光学元件；

所述吸附构件位于所述容纳空间内，并通过所述调节构件设置在所述支撑构件上，所述调节构件能够改变所述吸附构件相对所述多面体光学元件的位置，以使所述吸附构件能够固定所述多面体光学元件。

在上述技术方案中，进一步地，所述支撑构件包括第一支撑部以及第二支撑部；

所述第一支撑部为筒状结构，所述第二支撑部设置在所述第一支撑部的一端，以使所述第一支撑部与所述第二支撑部围设有所述容纳空间。

在上述技术方案中，进一步地，所述第一支撑部的轴向方向的第一端朝向第二端呈渐缩状；

所述第二支撑部设置在所述第一支撑部的第二端。

在上述技术方案中，进一步地，所述第一支撑部与所述第二支撑部上均间隔设置有多个所述吸附构件。

在上述技术方案中，进一步地，所述调节构件包括第一调节部以及第二调节部；

所述第一调节部穿过所述支撑构件并朝向所述容纳空间延伸形成有所述第二调节部。

在上述技术方案中，进一步地，所述所述支撑构件上开设有通孔，所述通孔的内侧壁上设置有内螺纹；所述第一调节部的外侧壁上设置有外螺纹；

所述内螺纹与所述外螺纹相适配；

旋转位于所述容纳空间外的所述第一调节部的部分，以改变位于所述容纳空间内的所述第一调节部的部分的长度。

在上述技术方案中，进一步地，所述吸附构件还包括转动部；所述转动部转动设置在所述第二调节部上，所述吸附部通过连接件设置在所述转动部上，以使所述吸附部能够相对所述第二调节部旋转。

在上述技术方案中，进一步地，所述吸附构件还包括转动部；

所述转动部设置在所述第二调节部上，所述吸附部通过连接件设置在所述转动部上；

所述转动部能够在所述第二调节部上旋转，通过所述连接件以使所述吸附部旋转。