[实用新型]平面波导型光分路器的加工装置有效
| 申请号： | 202021415352.0 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN212781326U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 王超 | 申请（专利权）人： | 常州凌凯特电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 周文杰 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 波导 分路 加工 装置 | ||
1.一种平面波导型光分路器的加工装置，包括一侧面敞开的箱体（3），其特征在于：所述箱体（3）中间处设有用于放置晶圆的固定板（8），箱体（3）的上端设有可上下调节的压板（4），箱体（3）上端设有上UV点光源（6）、下端设有下UV点光源（7）。
2.如权利要求1所述的平面波导型光分路器的加工装置，其特征在于：所述箱体（3）的中间设有用于插接固定板（8）的凹槽（1）。
3.如权利要求1所述的平面波导型光分路器的加工装置，其特征在于：所述固定板（8）上设有用于初步固定晶圆的固定块（5）。
4.如权利要求3所述的平面波导型光分路器的加工装置，其特征在于：所述固定块（5）为软橡胶材质。
5.如权利要求1所述的平面波导型光分路器的加工装置，其特征在于：所述压板（4）的两端连接调节杆（2），调节杆（2）置于箱体（3）两侧的螺纹槽内。
6.如权利要求5所述的平面波导型光分路器的加工装置，其特征在于：所述压板（4）与调节杆（2）连接为焊接或者螺钉固定。
7.如权利要求1所述的平面波导型光分路器的加工装置，其特征在于：所述上UV点光源（6）设有1个，上UV点光源（6）的位置正对于固定板（8）的中心处。
8.如权利要求1所述的平面波导型光分路器的加工装置，其特征在于：所述下UV点光源（7）设有3个，均匀分布在箱体（3）的底部。
9.如权利要求1所述的平面波导型光分路器的加工装置，其特征在于：所述固定板（8）和压板（4）都为透光板。
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