[实用新型]平面波导型光分路器的加工装置

说明书

本实用新型涉及光分路器的技术领域，尤其涉及一种平面波导型光分路器的加工装置。这种平面波导型光分路器的加工装置包括一侧面敞开的箱体，箱体中间处设有用于放置晶圆的固定板，箱体的上端设有可上下调节的压板，箱体上端设有上UV点光源、下端设有下UV点光源。这种平面波导型光分路器的加工装置的结构简单，压板调节方便，同时上下光源保证照射更加均匀。

技术领域

本实用新型涉及一种平面波导型光分路器，尤其涉及一种平面波导型光分路器的加工装置。

背景技术

光分路器作用是把主干光缆通过分光器分成若干用光纤连接到路游设备在传送给用户单位。它们之间是相辅相成的。

光分路器又称分光器，是光纤链路中重要的无源器件之一，是具有多个输入端和多个输出端的光纤汇接器件。

光分路器按分光原理可以分为熔融拉锥型和平面波导型两种，熔融拉锥法就是将两根（或两根以上）除去涂覆层的光纤以一定的方法靠扰，在高温加热下熔融，同时向两侧拉伸，最终在加热区形成双锥体形式的特殊波导结构，通过控制光纤扭转的角度和拉伸的长度，可得到不同的分光比例。最后把拉锥区用固化胶固化在石英基片上插入不锈铜管内，这就是光分路器。

平面波导型光分路器芯片的晶圆厚度只有1mm，而单颗芯片使用时需要2.5mm的厚度，这就需要在晶圆上面粘接一片1.5mm厚度左右的玻璃片。传统工艺粘接晶圆与玻璃片时，将晶圆与玻璃片之间涂满UV胶水贴合制成待照胶晶圆，置于工作台上，且玻璃片在晶圆上方，用压块压住玻璃片，再用UV面光源从上面进行照胶；但是，因为压块挡光，需当压块周边UV胶水固化到一定程度后，将压块取下，再继续进行一次照胶，以使压块下方UV胶水固化；此工艺存在如下问题：1、需要照胶两次，效率低；2、压块下方和压块周边UV胶水受照射时间不一致，导致固化度不一致，进而易出现可靠性问题。而如果不使用压块，因为玻璃片很轻，且UV胶水由液态转化为固态过程中变形及张力的影响，易导致胶水有气泡或者晶圆与玻璃片错位等问题，故必须使用压块。

实用新型内容

本实用新型旨在解决上述缺陷，提供一种平面波导型光分路器的加工装置。

为了克服背景技术中存在的缺陷，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：这种平面波导型光分路器的加工装置包括一侧面敞开的箱体，箱体中间处设有用于放置晶圆的固定板，箱体的上端设有可上下调节的压板，箱体上端设有上UV点光源、下端设有下UV点光源。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括所述箱体的中间设有用于插接固定板的凹槽。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括所述固定板上设有用于初步固定晶圆的固定块。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括所述固定块为软橡胶材质。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括所述压板的两端连接调节杆，调节杆置于箱体两侧的螺纹槽内。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括所述压板与调节杆连接为焊接或者螺钉固定。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括所述上UV点光源设有1个，上UV点光源的位置正对于固定板的中心处。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括所述下UV点光源设有3个，均匀分布在箱体的底部。

根据本实用新型的另一个实施例，进一步包括所述固定板和压板都为透光板。

本实用新型的有益效果是：这种平面波导型光分路器的加工装置的结构简单，压板调节方便，同时上下光源保证照射更加均匀。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图；