[实用新型]晶圆作业平台及具有其的点胶机

权利要求书

1.一种晶圆作业平台，能够用于点胶机本体对晶圆进行点胶，其特征在于，所述点胶机本体在点胶位置和保温位置之间可活动，所述晶圆作业平台包括：

发热支撑台；

加热器，所述加热器设于所述发热支撑台，所述加热器的上表面形成为加热面，所述晶圆位于所述加热面的上方，在所述点胶机本体位于所述点胶位置时，所述点胶机本体位于所述晶圆的上方；

点胶保温平台，所述点胶保温平台设于所述发热支撑台的一侧，所述点胶保温平台具有能够对所述点胶机本体进行加热的保温面，在所述点胶机本体位于所述保温位置时，所述点胶机本体接近于所述保温面。

2.根据权利要求1所述的晶圆作业平台，其特征在于，所述点胶保温平台的上表面形成为保温面，在所述点胶机本体位于所述保温位置时，所述点胶机本体位于所述保温面的上方。

3.根据权利要求2所述的晶圆作业平台，其特征在于，还包括：

废料桶，所述废料桶位于所述点胶机本体的一侧以承接所述点胶机本体排出的胶水。

4.根据权利要求1所述的晶圆作业平台，其特征在于，还包括：

底板；

支撑杆，所述支撑杆设于所述底板，所述发热支撑台设于所述支撑杆且与所述底板间隔开；

高度调节组件，所述高度调节组件设于所述发热支撑台与所述支撑杆之间以调节所述发热支撑台的水平高度。

5.根据权利要求4所述的晶圆作业平台，其特征在于，每个所述支撑杆与所述发热支撑台之间分别设有一个所述高度调节组件。

6.根据权利要求4所述的晶圆作业平台，其特征在于，所述高度调节组件包括：

调节座，所述调节座设于所述支撑杆的上端；

调节杆，所述调节杆设于所述发热支撑台的下方，所述调节杆与所述调节座可活动地相连以调节所述发热支撑台与所述支撑杆之间的距离。

7.根据权利要求6所述的晶圆作业平台，其特征在于，还包括：

测高传感器，所述测高传感器设于所述发热支撑台上方以检测所述发热支撑台的各个部位的高度是否一致。

8.根据权利要求1所述的晶圆作业平台，其特征在于，还包括：

多个顶针，多个所述顶针沿其轴向在第一位置和第二位置之间可活动地设于晶圆加热装置的底座上，所述顶针位于所述第一位置时，所述顶针的上端突出于所述晶圆加热装置以承接晶圆，所述顶针位于所述第二位置时，所述顶针的上端不超出所述晶圆加热装置；

顶针驱动件，所述顶针驱动件设于所述底座且与所述顶针相连，所述顶针驱动件驱动所述顶针活动。

9.一种点胶机，其特征在于，包括权利要求1-8中任一所述的晶圆作业平台。