[实用新型]一种靶材离化冷却承载机构

权利要求书

1.一种靶材离化冷却承载机构，其特征在于：包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和至少一组真空管机构；所述真空管机构包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；

所述内管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，所述外管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，外管套设于内管的外侧，外管与内管之间设置有冷却液腔；所述外管设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口和第一出水口均与冷却液腔连通；所述第一连接块连接于安装座或相邻真空管机构的第二连接块，所述第二连接块连接于相邻真空管机构的第一连接块，多个锁紧件用于将第一连接块锁紧于安装座，多个锁紧件也用于将第二连接块锁紧于相邻真空管机构的第一连接块；所述外管的外侧套设有电磁感应线圈；

所述靶材夹头机构设置于安装座并位于内管的内部，靶材夹头机构用于夹紧待离化靶材；所述冷却机构设置于安装座并用于冷却靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材；所述引弧机构转动连接于安装座并位于内管的内部，驱动机构设置于安装座并用于驱动引弧机构转动，引弧机构用于使靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材产生弧斑。

2.根据权利要求1所述的一种靶材离化冷却承载机构，其特征在于：所述冷却机构包括水管套、进水管、出水管、出水管锁紧组件和热交换座，所述热交换座设置于安装座的一侧并位于内管的内部，水管套和出水管锁紧组件设置于安装座的另一侧；所述水管套设置有第二进水口和第二出水口，所述热交换座设置有第一容置腔、第二容置腔和通孔，通孔连通第一容置腔和第二容置腔，所述热交换座与靶材夹头机构连接，所述第一容置腔位于热交换座靠近靶材夹头机构的一端；所述出水管套设于进水管的外侧，进水管与出水管之间设置有流通间隙；所述安装座设置有安装孔，安装孔贯穿安装座，所述进水管的一端连接于水管套，进水管的另一端穿经安装孔并连接于热交换座，进水管连通第二进水口和第一容置腔；所述出水管的一端连接于水管套，出水管的另一端穿经安装孔并连接于热交换座，出水管连通第二出水口和第二容置腔；所述出水管锁紧组件用于将出水管锁紧于安装座。

3.根据权利要求2所述的一种靶材离化冷却承载机构，其特征在于：所述水管套设置有第三容置腔和第四容置腔，第四容置腔连通第三容置腔和外界；所述第二进水口与第三容置腔连通，所述第二出水口与第四容置腔连通；所述第三容置腔的内壁设置有第一内螺纹，进水管的外壁设置有用于与第一内螺纹螺纹连接的第一外螺纹；所述第四容置腔的内壁设置有第二内螺纹，出水管的外壁设置有用于与第二内螺纹螺纹连接的第二外螺纹。

4.根据权利要求2或3所述的一种靶材离化冷却承载机构，其特征在于：所述水管套设置有水管套密封圈、密封压持套和密封圈锁紧套；所述水管套密封圈和密封压持套分别套设于出水管的外壁，密封压持套用于将水管套密封圈压持于水管套；所述密封圈锁紧套的内壁设置有第三内螺纹，水管套的外壁设置有用于与第三内螺纹螺纹连接的第三外螺纹；所述密封圈锁紧套卡扣着密封压持套并用于将密封压持套锁紧于水管套。

5.根据权利要求2所述的一种靶材离化冷却承载机构，其特征在于：所述出水管锁紧组件包括出水管螺纹座，出水管螺纹座连接于安装座，出水管螺纹座设置有出水管螺纹孔，出水管螺纹孔贯穿出水管螺纹座，出水管螺纹孔的内壁设置有第四内螺纹；所述出水管的外壁设置有用于与第四内螺纹螺纹连接的第四外螺纹。

6.根据权利要求2所述的一种靶材离化冷却承载机构，其特征在于：所述靶材夹头机构包括夹头底座和夹头座，所述夹头底座连接于安装座，夹头座连接于夹头底座远离安装座的一端，夹头座用于夹紧待离化靶材；所述夹头底座开设有冷却机构容置腔，所述热交换座位于冷却机构容置腔内并抵触着夹头座的底部。

7.根据权利要求6所述的一种靶材离化冷却承载机构，其特征在于：所述热交换座和夹头座之间设置有夹头座密封圈，夹头座密封圈用于密封热交换座和夹头座之间的间隙。

8.根据权利要求6所述的一种靶材离化冷却承载机构，其特征在于：所述夹头底座设置有绝缘套，绝缘套套设于夹头座的外侧。