[实用新型]一种靶材离化冷却承载机构

说明书

本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种靶材离化冷却承载机构，其包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和至少一组真空管机构；所述真空管机构包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；外管与内管之间设置有冷却液腔；外管设置有第一进水口和第一出水口；外管的外侧套设有电磁感应线圈。本申请的靶材离化冷却承载机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化冷却承载机构的冷却效果，保护了靶材离化冷却承载机构内部的零部件，保证靶材离化冷却承载机构能稳定地正常工作，降低了靶材离化冷却承载机构的故障率和维修率，进而降低了生产的成本。

技术领域

本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种靶材离化冷却承载机构。

背景技术

真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术，在现实生产生活中有着广泛的应用。真空镀膜技术有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基材温升低、膜-基结合力好、装置性能稳定、操作控制方便等优点，成为镀膜工业应用领域特别是建筑镀膜玻璃、透明导电膜玻璃、柔性基材卷绕镀等对大面积的均匀性有特别苛刻要求的连续镀膜场合的首选方案。

溅射镀膜装置的靶材离化承载机构在工作中会产生大量的热量，现有的靶材离化承载机构的冷却效果差，靶材离化承载机构所产生的热量会影响整个溅射过程，从而导致镀膜失败。此外，靶材离化承载机构所产生的热量会影响靶材离化承载机构内部的零部件，使得靶材离化承载机构不能正常工作，甚至会造成靶材离化承载机构的损坏，增加生产的成本。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种靶材离化冷却承载机构，该靶材离化冷却承载机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化冷却承载机构的冷却效果，保护了靶材离化冷却承载机构内部的零部件，保证靶材离化冷却承载机构能稳定地正常工作，降低了靶材离化冷却承载机构的故障率和维修率，进而降低了生产的成本。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种靶材离化冷却承载机构，其包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和至少一组真空管机构；所述真空管机构包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；

所述内管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，所述外管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，外管套设于内管的外侧，外管与内管之间设置有冷却液腔；所述外管设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口和第一出水口均与冷却液腔连通；所述第一连接块连接于安装座或相邻真空管机构的第二连接块，所述第二连接块连接于相邻真空管机构的第一连接块，多个锁紧件用于将第一连接块锁紧于安装座，多个锁紧件也用于将第二连接块锁紧于相邻真空管机构的第一连接块；所述外管的外侧套设有电磁感应线圈；

所述靶材夹头机构设置于安装座并位于内管的内部，靶材夹头机构用于夹紧待离化靶材；所述冷却机构设置于安装座并用于冷却靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材；所述引弧机构转动连接于安装座并位于内管的内部，驱动机构设置于安装座并用于驱动引弧机构转动，引弧机构用于使靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材产生弧斑。