[实用新型]一种靶材的磁性弯管机构

权利要求书

1.一种靶材的磁性弯管机构，包括基座，其特征在于：还包括真空弯管件、电磁线圈以及均安装于基座的靶材液冷固定组件和引弧组件，基座安装于真空弯管件的一端，电磁线圈绕设于真空弯管件的外壁，靶材液冷固定组件用于安装靶材并对靶材降温，引弧组件用于驱使该靶材产生弧斑，带电的溅射原子的移动轨迹与真空弯管件的中心轴线重合设置或平行设置。

2.根据权利要求1所述的一种靶材的磁性弯管机构，其特征在于：所述靶材液冷固定组件包括安装于基座的液冷管件、安装于液冷管件一端的夹持件以及安装于液冷管件另一端的连接管件，液冷管件安装有夹持件的一端突伸至真空弯管件内部，液冷管件安装有连接管件的一端显露于真空弯管件外，夹持件设有夹持凹槽，以用于夹持靶材。

3.根据权利要求2所述的一种靶材的磁性弯管机构，其特征在于：所述连接管件安装有进液嘴和出液嘴，液冷管件设有进液通道、与进液通道连通的第一液冷腔、与第一液冷腔连通的第二液冷腔以及与第二液冷腔连通的出液通道，进液嘴与进液通道连通，出液嘴与出液通道连通，进液通道设置于出液通道内部，进液通道与出液通道共轴设置，冷却液依次流经进液嘴、进液通道、第一液冷腔、第二液冷腔、出液通道和出液嘴，夹持件和液冷管件之间安装有密封圈。

4.根据权利要求3所述的一种靶材的磁性弯管机构，其特征在于：所述第一液冷腔由夹持件和液冷管件围设而成，夹持凹槽位于夹持件的一侧，第一液冷腔位于夹持件的另一侧。

5.根据权利要求2所述的一种靶材的磁性弯管机构，其特征在于：所述靶材液冷固定组件还包括绝缘筒件，绝缘筒件围设于夹持件和液冷管件外侧。

6.根据权利要求1所述的一种靶材的磁性弯管机构，其特征在于：所述引弧组件包括安装于基座的驱动件、与驱动件输出端连接的杆件以及设置于杆件远离驱动件的一端的引弧部件，引弧部件包括固定于杆件的支撑端以及与支撑端一体成型的弯折端，驱动件用于驱使弯折端抵触靶材或远离靶材。

7.根据权利要求1所述的一种靶材的磁性弯管机构，其特征在于：所述真空弯管件包括弧形管和两个直管，两个直管分别固定于弧形管的两端，基座安装于一直管远离弧形管的一端，弧形管和两个直管均设有夹层空腔，弧形管的夹层空腔分别与两个直管的夹层空腔相互连通。

8.根据权利要求7所述的一种靶材的磁性弯管机构，其特征在于：所述弧形管内部安装有挡滤部件，挡滤部件设有多个挡板。