[实用新型]一种多点阵列式线性宽幅等离子发生装置

权利要求书

1.多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：包括盖板(1)、第一导流板(2)、密封装置(3)、壳体(4)、第一电极装置(5)和两个第二电极装置(6)，所述盖板(1)、所述第一导流板(2)依次盖设于所述壳体(4)，所述第一导流板(2)通过所述密封装置(3)与所述壳体(4)连接，所述第一电极装置(5)设置于所述壳体(4)的一端，两个所述第二电极装置(6)穿过所述壳体(4)，两个所述第二电极装置(6)的端部均与所述第一电极装置(5)的端部对应，所述壳体(4)的中部容置有分流块(7)，所述分流块(7)两侧的第一弧形槽(71)与所述壳体(4)两内壁上的第二弧形槽(41)对应，所述盖板(1)设置有容置槽(11)，所述容置槽(11)与设置于所述盖板(1)的进气管(8)连通，所述第一导流板(2)容置于所述容置槽(11)。

2.如权利要求1所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述第一导流板(2)上设置有多个均匀分布的第一通孔(21)，多个所述第一通孔(21)与所述壳体(4)上多个均匀分布的第二通孔(42)对应。

3.如权利要求2所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述第一导流板(2)为ㄇ型结构。

4.如权利要求1所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述盖板(1)与所述壳体(4)之间通过螺接或焊接连接。

5.如权利要求1所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述密封装置(3)为密封圈。

6.如权利要求1所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述第一电极装置(5)包括第一导电线(51)和固定块(52)，所述第一导电线(51)卡置于所述固定块(52)内部，所述固定块(52)与所述壳体(4)的端部连接。

7.如权利要求6所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述第二电极装置(6)包括第一陶瓷管(61)、导电体(62)和两个第二陶瓷管(63)，所述第一陶瓷管(61)、所述导电体(62)、两个所述第二陶瓷管(63)均同轴设置，所述导电体(62)容置于所述第一陶瓷管(61)内部，所述第一陶瓷管(61)的两端分别通过两个所述第二陶瓷管(63)与所述壳体(4)卡接。

8.如权利要求7所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述第一陶瓷管(61)横穿所述壳体(4)，所述导电体(62)的一端容置于所述固定块(52)，所述导电体(62)与所述第一导电线(51)对应。

9.如权利要求7所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述导电体(62)为导电线或空心导电管。

10.如权利要求1所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述壳体(4)的底部设置有第二导流板(9)，所述第二导流板(9)上设置有多个均匀分布的第三通孔(91)，两个所述第二电极装置(6)均与所述第二导流板(9)对应。