[实用新型]一种多点阵列式线性宽幅等离子发生装置

说明书

本实用新型属于等离子设备技术领域，具体涉及一种多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，包括盖板、第一导流板、密封装置、壳体、第一电极装置和两个第二电极装置，盖板、第一导流板依次盖设于壳体，第一导流板通过密封装置与壳体连接，第一电极装置设置于壳体的一端，两个第二电极装置穿过壳体，两个第二电极装置的端部均与第一电极装置的端部对应，壳体的中部容置有分流块，分流块两侧的第一弧形槽与壳体两内壁上的第二弧形槽对应，盖板设置有容置槽，容置槽与设置于盖板的进气管连通。该等离子电源能够同时输出两个负载等离子处理喷枪，等离子的产生效率高，且散热性好，设备整体的工作效率高，安全系数高。

技术领域

本实用新型属于等离子设备技术领域，具体涉及一种多点阵列式线性宽幅等离子发生装置。

背景技术

近来，正在广泛普及并使用通过在两个电极之间施加高压电流而生成的等离子体状态下供应工作气体(氮气、氧气、氢气、氩气、氦气、甲烷、丙烷等)而能够获得更高的燃烧热的等离子体喷枪。在等离子体喷枪中，喷枪结构对其工作效率的影响较大。

现有技术中，申请号为201910719897.6的废气处理用等离子体喷枪是，配备有本体、盖体、阴极以及阳极而用等离子体火焰分解废气，在所述本体的下部以覆盖所述阳极的端部面的方式结合有阻断部件，所述阻断部件由结合到所述本体的凸缘和结合到所述凸缘的盖体构成，在所述凸缘和所述盖体结合的状态下通过所述凸缘和所述盖体之间的缝隙排出的N2气体而形成空气帘，从而阻断所述废气分解后生成的腐蚀性气体。然而这种等离子喷枪在工作中会产生大量的热量，且必须配备液冷降温装置进行吸热降温，设备整体的结构复杂，且存在冷却液泄露的安全风险，等离子的产生效率低，产品的市场竞争力不足。

综上可知，相关技术亟待完善。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：针对现有技术的不足，而提供多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，可以产生多点阵列式线性等离子体，密度高且均匀性好，等离子的产生效率高，处理宽度可达450mm，等离子的产生效率高，且散热性好，不需液冷散热装置进行辅助散热，设备整体的工作效率大大地提高。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，包括盖板、第一导流板、密封装置、壳体、第一电极装置和两个第二电极装置，所述盖板、所述第一导流板依次盖设于所述壳体，所述第一导流板通过所述密封装置与所述壳体连接，所述第一电极装置设置于所述壳体的一端，两个所述第二电极装置穿过所述壳体，两个所述第二电极装置的端部均与所述第一电极装置的端部对应，所述壳体的中部容置有分流块，所述分流块两侧的第一弧形槽与所述壳体两内壁上的第二弧形槽对应，所述盖板设置有容置槽，所述容置槽与设置于所述盖板的进气管连通，所述第一导流板容置于所述容置槽。在实际应用中，通过进气管向盖板中通入(氮气、氧气、氢气、氩气、氦气、甲烷、丙烷等，根据实际情况可以灵活地选择)能够产生出等离子的气体，将第一电极装置的一端接通高压电电源的一个电极(正极或负极)，将两个第二电极装置的同一侧的端部接通高压电电源的另一个电极(正极或负极)，两个第二电极装置的相对另一侧的端部均匀第一电极装置的另一端对应；在工作中，从进气管进入到盖板内的气体经过第一导流板导流后，使得进入到壳体中分流块两侧的气体气压分布均匀，接着分流块两侧的气体分别经过第一弧形槽、第二弧形槽，气体气压分别经过多道弯折路径的缓冲，使得气体分子的运动速率得到有效的降速，使得气体分子能够充分地在高压下发生电离，从而产生足够多的等离子体，多道弯折路径延长了气体分子的运动轨迹，同时增大了气体的散热面积，有效地将热量散发出去，达到了优异的散热效果，该装置可以产生多点式线性等离子体，密度高且均匀性好，处理宽度可达450mm，等离子的产生效率高，且散热性好，不需液冷散热装置进行辅助散热，设备整体的工作效率大大地提高，工作时的安全系数高。