[实用新型]一种微型振动传感器

权利要求书

1.一种微型振动传感器，包括壳体组件，所述壳体组件包括第一壳体和第二壳体，所述第一壳体与第二壳体之间构成振动腔，其特征在于：所述振动腔内设有振动组件，所述振动组件将振动腔区隔为互不连通的第一振动腔和第二振动腔，所述第二振动腔内设有MEMS芯片，所述MEMS芯片电连接有ASIC芯片，所述MEMS芯片具有内凹陷，所述MEMS芯片的内凹陷与壳体组件构成不与第二振动腔连通的后音腔。

2.根据权利要求1所述的一种微型振动传感器，其特征在于：

所述第一振动腔具有与外部连通的第一泄压孔，所述后音腔具有与外部连通的第二泄压孔。

3.根据权利要求1所述的一种微型振动传感器，其特征在于：

所述第二振动腔为密闭空腔。

4.根据权利要求1所述的一种微型振动传感器，其特征在于：

所述振动组件包括振膜和质量块，所述振膜四周与壳体组件固定连接，所述质量块安置于振膜中部。

5.根据权利要求4所述的一种微型振动传感器，其特征在于：

所述壳体组件包括垫环，所述振膜四周边缘与垫环粘结。

6.根据权利要求5所述的一种微型振动传感器，其特征在于：

所述壳体组件包括环形的支撑板，所述支撑板一端面与垫环固定连接，所述支撑板另一端面与第一壳体或第二壳体固定连接。

7.根据权利要求2所述的一种微型振动传感器，其特征在于：

所述壳体组件上设有后音腔凹陷，所述后音腔凹陷与内凹陷沟通构成后音腔，所述第二泄压孔位于后音腔凹陷。

8.根据权利要求1所述的一种微型振动传感器，其特征在于：

所述第一壳体和/或第二壳体为电磁屏蔽材料制成。

9.根据权利要求1所述的一种微型振动传感器，其特征在于：

所述第一壳体为金属壳体，所述第二壳体为PCB板。

10.根据权利要求2所述的一种微型振动传感器，其特征在于：

所述第一泄压孔和/或第二泄压孔为一个或多个。