[实用新型]一种微型振动传感器

说明书

本实用新型公开了一种微型振动传感器，包括第一壳体与第二壳体之间构成振动腔，其特征在于：所述振动腔内设有将振动腔区隔为互不连通的第一振动腔和第二振动腔的振动组件，所述第二振动腔内设有MEMS芯片，所述MEMS芯片具有内凹陷，所述MEMS芯片的内凹陷与壳体组件构成不与第二振动腔连通的后音腔。本申请具有屏蔽嘈杂声音导入的振动腔，采用振动腔内拾取音频振动信号的振膜组件拾取声音，此振动信号与人说话时的声音信号在一定频段内信息一致，传感器可以极大程度的屏蔽通过空气传导的声音，因此传感器非常适合在嘈杂环境下提取清晰人声；采用融合结构有效的降低了产品的高度，与现有产品比，体积可缩小20%以上。

技术领域

本实用新型涉及振动传感器技术领域，具体地讲是涉及一种微型振动传感器。

背景技术

振动传感器是一种拾取音频振动信号的传感器，更进一步的讲，是一种拾取人说话时头骨音频振动信号的传感器，是一种拾音器。传统的拾音器即为麦克风产品，产品设计已经比较成熟，拾音效果好，声音保真度高。但是，在小型化应用场景日益重要的情况下，尤其是在嘈杂环境下，传统麦克风难以满足要求。主要原因是类似蓝牙耳机等应用场景下，拾音器面对的环境往往比较嘈杂，环境杂音众多，传统麦克风难以拾取需要的音频信号、屏蔽环境杂音。

因此，业内采用微型振动传感器作为拾音器，拾取人说话时头骨的振动产生的音频信号，此振动信号与人说话时的声音信号在一定频段内信息一致，可以通过拾取此振动信号，来达到拾取声音信号的目的。

目前满足该需求的的传统同类型的产品分为两类，一类是基于压电片来实现振动信息到电信号的转换，其产品受限于结构换能系数低，导致拾音性能差、一致性不好，并且难以覆盖整个声音频段，很难适应高端采音需求。

另一类产品是在现有麦克风产品基础上，外加一层振动拾取结构，实现拾取振动信号的目的，此类产品因为是在麦克风基础上外加了结构，所以产品高度高、体积大，不利于真无线蓝牙耳机（TWS）等小型化应用场景的使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述传统技术的不足之处，提供一种能拾取人说话时头骨的振动信号，可以极大程度的屏蔽通过空气传导的声音，非常适合在嘈杂环境下提取清晰人声的微型振动传感器。

本实用新型的目的是通过以下技术措施来达到的：

一种微型振动传感器，包括壳体组件，所述壳体组件包括第一壳体和第二壳体，所述第一壳体与第二壳体之间构成振动腔，其特征在于：所述振动腔内设有振动组件，所述振动组件将振动腔区隔为互不连通的第一振动腔和第二振动腔，所述第二振动腔内设有MEMS芯片，所述MEMS芯片电连接有ASIC芯片，所述MEMS芯片具有内凹陷，所述MEMS芯片的内凹陷与壳体组件构成不与第二振动腔连通的后音腔。

本申请的微型振动传感器能拾取人说话时头骨的振动信号，此振动信号与人说话时的声音信号在一定频段内信息一致，可以通过拾取此振动信号，来达到拾取声音信号的目的。同时，此传感器可以极大程度的屏蔽通过空气传导的声音，因此传感器非常适合在嘈杂环境下提取清晰人声。

作为一种优选方案，所述第一振动腔具有与外部连通的第一泄压孔，所述后音腔具有与外部连通的第二泄压孔。

作为一种优选方案，所述第二振动腔为密闭空腔。

作为一种优选方案，所述振动组件包括振膜和质量块，所述振膜四周与壳体组件固定连接，所述质量块安置于振膜中部。

作为一种优选方案，所述壳体组件包括垫环，所述振膜四周边缘与垫环粘结。

作为一种优选方案，所述壳体组件包括环形的支撑板，所述支撑板一端面与垫环固定连接，所述支撑板另一端面与第一壳体或第二壳体固定连接。

作为一种优选方案，所述壳体组件上设有后音腔凹陷，所述后音腔凹陷与内凹陷沟通构成后音腔，所述第二泄压孔位于后音腔凹陷。