[实用新型]一种半导体制造用干泵控制系统

权利要求书

1.一种半导体制造用干泵控制系统，应用于干泵上，其特征在于：包括主回路、控制回路及与所述主回路连接的开关电源SMPS，所述开关电源SMPS用于给所述控制回路提供电源；

所述主回路包括依次连接的交流接触器KZ、热继电器KZR以及并联的第一支路和第二支路；

所述控制回路包括与所述第一支路连接的第一控制支路和与所述第二支路连接的第二控制支路，所述第一控制支路和所述第二控制支路用于分别控制所述第一支路和所述第二支路的通断；

所述控制回路还包括与所述主回路连接的电源控制支路，用于控制所述主回路电源的通断。

2.根据权利要求1所述的半导体制造用干泵控制系统，其特征在于：所述电源控制支路包括依次连接的常开按钮S1、常闭按钮S2和热继电器常闭触点KZR-1；

所述常开按钮S1两端并联有所述交流接触器KZ的常开触点KZ-1；

所述电源控制支路中还串联有所述交流接触器KZ的线圈。

3.根据权利要求1所述的半导体制造用干泵控制系统，其特征在于：所述第一支路包括断路器KC、交流接触器KM、热继电器KMR和电机MP；

所述第二支路包括断路器KD、交流接触器KB、热继电器KBR和电机BP。

4.根据权利要求3所述的半导体制造用干泵控制系统，其特征在于：所述第一控制支路包括依次连接的常开按钮S3、常闭按钮S4、热继电器常闭触点KMR-S、及若干温控支路；

所述常开按钮S3两端并联有所述交流接触器KM的常开触点KM-1；

所述第一控制支路中还串联有所述交流接触器KM的线圈。

5.根据权利要求4所述的半导体制造用干泵控制系统，其特征在于：所述第二控制支路包括依次连接的时间继电器控制支路和热继电器常闭触点KBR-S；

所述时间继电器控制支路包括并联在所述交流接触器KM的线圈两端的时间继电器T1；

所述第二控制支路中还串联有所述交流接触器KB的线圈。

6.根据权利要求4所述的半导体制造用干泵控制系统，其特征在于：所述温控支路包括：固态继电器M-SSR，所述固态继电器M-SSR的负载端串接在所述第一控制支路中；

温控器TC，所述温控器TC的输出端连接所述固态继电器M-SSR的控制端，所述温控器TC还连接在所述开关电源SMPS的输出端，所述温控器TC用于接收所述干泵的温度信号。

7.根据权利要求5所述的半导体制造用干泵控制系统，其特征在于：所述时间继电器控制支路还包括：固态继电器T-SSR，所述固态继电器T-SSR的负载端串接在所述第二控制支路中，所述固态继电器T-SSR的控制端还连接所述开关电源SMPS的输出端；

时间继电器常开触点TS-1，所述时间继电器常开触点TS-1串接在所述固态继电器T-SSR的控制端与所述开关电源SMPS输出端之间。

8.根据权利要求5所述的半导体制造用干泵控制系统，其特征在于：还包括若干监控支路，所述监控支路分别串接在所述第一控制支路与所述第二控制支路中；

所述监控支路包括：监控固态继电器，所述监控固态继电器的控制端连接在所述开关电源SMPS的输出端；

监控继电器，所述监控继电器的线圈端连接在所述开关电源SMPS的输出端，所述监控继电器的常开触点串接在所述监控固态继电器的控制端与所述开关电源SMPS的输出端之间；

传感器开关，所述传感器开关串接在所述监控继电器的线圈一端与所述开关电源SMPS的输出端之间。

9.根据权利要求8所述的半导体制造用干泵控制系统，其特征在于：所述传感器开关包括水流传感器开关和/或油位传感器开关。

10.根据权利要求1所述的半导体制造用干泵控制系统，其特征在于：还包括连接在所述第一支路中的相序继电器KX-BOX，所述相序继电器KX-BOX的常开触点KX串接在所述第一控制支路中。