[实用新型]一种硅片充氮厌氧甩干机

权利要求书

1.一种硅片充氮厌氧甩干机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的顶部固定安装有伺服电机(3)，所述机体(1)顶部远离伺服电机(3)的一端固定连接有氮气装置(17)，所述机体(1)的顶部且位于伺服电机(3)与氮气装置(17)之间转动连接有转动杆(5)，所述转动杆(5)的顶部固定连接有第一旋转接头(6)，所述转动杆(5)的外侧且位于第一旋转接头(6)的下方固定套接有从动锥齿轮(7)，所述伺服电机(3)的输出端固定连接有主动锥齿轮(4)，所述转动杆(5)的底端延伸至机体(1)的内腔并固定连接有转动盘(8)，所述转动盘(8)的底部固定连接有甩干箱(9)，所述甩干箱(9)的内腔固定连接有储片装置(12)，所述机体(1)内腔的底部固定连接有储液箱(13)，所述甩干箱(9)的底部与储液箱(13)的顶端转动连接，所述甩干箱(9)的底部且位于储液箱(13)的上方固定连接有储液管(14)，所述储液管(14)的底部固定安装有第二旋转接头(16)，所述储液箱(13)内腔的顶部固定连接有液泵(18)，所述液泵(18)的吸水端与第二旋转接头(16)的固定端连接，所述甩干箱(9)的底部开设有下渗槽(15)，所述下渗槽(15)与储液管(14)内腔连通。

2.根据权利要求1所述的一种硅片充氮厌氧甩干机，其特征在于：所述第二旋转接头(16)的转动端与储液管(14)的顶部固定连接，所述第二旋转接头(16)的转动端与储液管(14)内腔连通，所述储液箱(13)的底部固定连接有废液管(19)，所述废液管(19)延伸至机体(1)的底部。

3.根据权利要求1所述的一种硅片充氮厌氧甩干机，其特征在于：所述甩干箱(9)内部的两侧均开设有储气腔(10)，所述甩干箱(9)内壁的两侧均开设有喷口(11)，所述转动杆(5)为中空结构，所述转动杆(5)与转动盘(8)内腔连通，所述储气腔(10)与转动盘(8)内腔连通，所述喷口(11)均与储气腔(10)内腔连通。

4.根据权利要求1所述的一种硅片充氮厌氧甩干机，其特征在于：所述甩干箱(9)外侧均固定安装有永磁铁(20)，所述机体(1)内腔镶嵌有吸铁石(21)，所述吸铁石(21)与永磁铁(20)磁性相斥。

5.根据权利要求1所述的一种硅片充氮厌氧甩干机，其特征在于：所述从动锥齿轮(7)与伺服电机(3)啮合连接，所述伺服电机(3)与从动锥齿轮(7)的直径之比为二比一。

6.根据权利要求1所述的一种硅片充氮厌氧甩干机，其特征在于：所述氮气装置(17)的一侧固定安装有气泵(2)，所述气泵(2)的输气端通过管道与第一旋转接头(6)的一端连接。