[实用新型]一种硅片充氮厌氧甩干机

说明书

本实用新型公开了一种硅片充氮厌氧甩干机，涉及硅片设备技术领域，包括机体，所述机体的顶部固定安装有伺服电机，所述机体顶部远离伺服电机的一端固定连接有氮气装置，所述机体的顶部且位于伺服电机与氮气装置之间转动连接有转动杆，本实用新型的有益效果为：该硅片充氮厌氧甩干机，通过设置有储液箱、储液管以及下渗槽，甩干下来的废液，落到甩干箱内腔的底部，然后通过下渗槽下落至储液管内部，然后液泵通过第二旋转接头将废液吸入至储液箱内部，然后操作人员可以通过废液管取出。可以有效防止废液在装置内部四散，造成硅片受到污染的情况发生，从而提高了硅片的良品率，进而提高了硅片的生产效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片设备技术领域，具体为一种硅片充氮厌氧甩干机。

背景技术

导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。清洗后需要进行甩干，但是在甩干的过程中，废液会在装置内部四散，造成硅片受到污染的情况发生，从而使得硅片的良品率较低，同时现有的甩干机甩干效率较低。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片充氮厌氧甩干机，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种硅片充氮厌氧甩干机，包括机体，所述机体的顶部固定安装有伺服电机，所述机体顶部远离伺服电机的一端固定连接有氮气装置，所述机体的顶部且位于伺服电机与氮气装置之间转动连接有转动杆，所述转动杆的顶部固定连接有第一旋转接头，所述转动杆的外侧且位于第一旋转接头的下方固定套接有从动锥齿轮，所述伺服电机的输出端固定连接有主动锥齿轮，所述转动杆的底端延伸至机体的内腔并固定连接有转动盘，所述转动盘的底部固定连接有甩干箱，所述甩干箱的内腔固定连接有储片装置，所述机体内腔的底部固定连接有储液箱，所述甩干箱的底部与储液箱的顶端转动连接，所述甩干箱的底部且位于储液箱的上方固定连接有储液管，所述储液管的底部固定安装有第二旋转接头，所述储液箱内腔的顶部固定连接有液泵，所述液泵的吸水端与第二旋转接头的固定端连接，所述甩干箱的底部开设有下渗槽，所述下渗槽与储液管内腔连通。

优选的，所述第二旋转接头的转动端与储液管的顶部固定连接，所述第二旋转接头的转动端与储液管内腔连通，所述储液箱的底部固定连接有废液管，所述废液管延伸至机体的底部。

优选的，所述甩干箱内部的两侧均开设有储气腔，所述甩干箱内壁的两侧均开设有喷口，所述转动杆为中空结构，所述转动杆与转动盘内腔连通，所述储气腔与转动盘内腔连通，所述喷口均与储气腔内腔连通。

优选的，所述甩干箱外侧均固定安装有永磁铁，所述机体内腔镶嵌有吸铁石，所述吸铁石与永磁铁磁性相斥。

优选的，所述从动锥齿轮与伺服电机啮合连接，所述伺服电机与从动锥齿轮的直径之比为二比一。

优选的，所述氮气装置的一侧固定安装有气泵，所述气泵的输气端通过管道与第一旋转接头的一端连接。

本实用新型提供了一种硅片充氮厌氧甩干机，具备以下有益效果：

1、该硅片充氮厌氧甩干机，通过设置有储液箱、储液管以及下渗槽，甩干下来的废液，落到甩干箱内腔的底部，然后通过下渗槽下落至储液管内部，然后液泵通过第二旋转接头将废液吸入至储液箱内部，然后操作人员可以通过废液管取出，可以有效防止废液在装置内部四散，造成硅片受到污染的情况发生，从而提高了硅片的良品率，进而提高了硅片的生产效率。