[实用新型]一种内循环二流体蚀刻系统

权利要求书

1.一种内循环二流体蚀刻系统，其特征在于，包括：

密封机箱，其底部设有储存药水的药水池；

药水管路，其设有药水泵连接所述药水池；

高压气体管路，其设有高压气泵，所述高压气泵的进气口位于所述密封机箱内；以及

若干喷咀，其并列设置位于密封机箱内，分别连接所述药水管路和所述高压气体管路。

2.根据权利要求1所述的内循环二流体蚀刻系统，其特征是，所述高压气泵的进气口设有进气过滤器。

3.根据权利要求1所述的内循环二流体蚀刻系统，其特征是，所述药水泵的进液口设有过滤罩，出液口依次设有一级过滤器和二级过滤器。

4.根据权利要求1所述的内循环二流体蚀刻系统，其特征是，还包括：

喷管，其一端封闭，另一端连接所述药水管路；

导气管，其一端封闭，另一端连接所述高压气体管路；

每个所述喷咀分别连接所述喷管和所述导气管。

5.根据权利要求1至4任一所述的内循环二流体蚀刻系统，其特征是，还包括：

吸水刀，其间隔置于蚀刻工作面上方，吸干基板表面药水回收至所述药水池内。

6.根据权利要求5所述的内循环二流体蚀刻系统，其特征是，还包括：

负压系统，其设有真空发生器和负压管路，所述真空发生器连接所述负压管路，所述负压管路连接所述吸水刀。