[实用新型]一种内循环二流体蚀刻系统

说明书

本实用新型公开一种内循环二流体蚀刻系统，包括密封机箱、药水管路、高压气体管路和若干喷咀，密封机箱的底部设有储存药水的药水池；药水管路设有药水泵连接药水池；高压气体管路设有高压气泵，高压气泵的进气口位于密封机箱内；若干喷咀并列设置位于密封机箱内，分别连接药水管路和高压气体管路。本实用新型提供的内循环二流体蚀刻系统，采用高压气体和药水混合形成二流体喷出，喷出的喷雾药水颗粒小，更加容易进入微细线路间进行交换蚀刻，而且喷出力度大，有效提高蚀刻效率；高压气体管路形成内循环，有效抑制雾化药水向机箱外泄漏，减少药水的流失；而且设备结构简单，不需要单独的药水回收系统，节省了设备的成本及使用成本。

技术领域

本实用新型涉及线路板加工的技术领域，具体是一种内循环二流体蚀刻系统。

背景技术

线路板加工过程中需要使用蚀刻系统，将药水喷淋到基板上，发生化学反应，线路板上非线路部分的铜层被腐蚀处理掉。现有技术中采用单一药水直接喷淋，喷出的雾粒直径大，喷出速度慢，新出的药水更新频率低，导致蚀刻效率低，线路间隙蚀刻不充分，不能应用于微细线路的蚀刻。另外现有设备还需要单独的药水回收系统，增加了设备的成本及过多的占用使用成本。

因此，需要解决上述技术问题。

发明内容

本实用新型针对以上技术问题，提供一种内循环二流体蚀刻系统,采用高压气体和药水混合形成二流体喷出，喷出的喷雾药水颗粒小，更加容易进入微细线路内进行交换蚀刻，而且喷出力度大，有效提高蚀刻效率；高压气体管路形成内循环，有效抑制雾化药水向机箱外泄漏，减少药水的流失；而且设备结构简单，不需要单独的药水回收系统，节省了设备的成本及使用成本。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种内循环二流体蚀刻系统，包括：

密封机箱，其底部设有储存药水的药水池；

药水管路，其设有药水泵连接所述药水池；

高压气体管路，其设有高压气泵，所述高压气泵的进气口位于所述密封机箱内；以及

若干喷咀，其并列设置位于密封机箱内，分别连接所述药水管路和所述高压气体管路。

上述内循环二流体蚀刻系统采用高压气体和药水混合形成二流体喷出，喷出的喷雾药水颗粒小，更加容易进入微细线路内进行交换蚀刻，而且喷出力度大，有效提高蚀刻效率；高压气体管路形成内循环，有效抑制雾化药水向机箱外泄漏，减少药水的流失；而且设备结构简单，不需要单独的药水回收系统，节省了设备的成本及使用成本。

进一步所述高压气泵的进气口设有进气过滤器。

进一步所述药水泵的进液口设有过滤罩，出液口依次设有一级过滤器和二级过滤器。

进一步该内循环二流体蚀刻系统还包括：

喷管，其一端封闭，另一端连接所述药水管路；

导气管，其一端封闭，另一端连接所述高压气体管路；

每个所述喷咀分别连接所述喷管和所述导气管。

上述内循环二流体蚀刻系统采用喷管和导气管安装连通若干喷咀，喷咀布置安装简便快捷。

进一步该内循环二流体蚀刻系统还包括：吸水刀，其间隔置于蚀刻工作面上方，吸干基板表面药水回收至所述药水池内。采用吸水刀吸干基板表面已发生化学反应的药水，使得后续喷出的药水重新充分附着于基板表面进行蚀刻，由此减弱水池效应，保证蚀刻更均匀。

进一步该内循环二流体蚀刻系统还包括：负压系统，其设有真空发生器和负压管路，所述真空发生器连接所述负压管路，所述负压管路连接所述吸水刀。负压系统产生负压作用于吸水刀，使得吸水刀的吸水效果更好。