[实用新型]一种用于单晶生产的高拉速水冷屏有效
申请号: | 202021450379.3 | 申请日: | 2020-07-21 |
公开(公告)号: | CN212713835U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 郑伟扬;王思锋 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 徐芝强;肖明芳 |
地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 生产 高拉速 水冷 | ||
1.一种用于单晶生产的高拉速水冷屏,其特征在于,包括中部上下贯穿的筒体(1)、位于筒体(1)筒壁中的冷却水水道(2)、以及连接于筒体(1)顶部一侧的进水管管道(3)和连接于筒体(1)顶部另一侧的出水管管道(4);所述进水管管道(3)、筒体(1)筒壁中的冷却水水道(2)、以及出水管管道(4)依次连通;
所述筒体(1)的筒壁包括外壁(11)和内壁(12),冷却水水道(2)设置于外壁(11)和内壁(12)之间;所述内壁(12)为具有凹凸褶皱的折面。
2.根据权利要求1所述的用于单晶生产的高拉速水冷屏,其特征在于,所述内壁(12)上凹凸褶皱的折面沿纵向依次设置,且指向下方的同一圆心。
3.根据权利要求2所述的用于单晶生产的高拉速水冷屏,其特征在于,所述冷却水水道(2)为多层上下连通的环形管道,进水管管道(3)自筒体(1)顶部与冷却水水道(2)连通,经环形管道流向下一层,直至筒体(1)底部,再通过向上的环形管道与筒体(1)顶部另一侧的出水管管道(4)连通。
4.根据权利要求3所述的用于单晶生产的高拉速水冷屏,其特征在于,所述冷却水水道(2)包括位于筒体(1)筒壁顶部和底部的圆环形管道(21),以及位于中部的半圆环形管道(22);圆环形管道(21)和半圆环形管道(22)的两侧分别设置连接上下管道的连通口;同一高度的两条半圆环形管道(22)一条用于进水,另一条用于出水。
5.根据权利要求2所述的用于单晶生产的高拉速水冷屏,其特征在于,所述冷却水水道(2)为螺旋管道,进水管管道(3)自筒体(1)顶部与冷却水水道(2)连通,冷却水水道(2)螺旋向下,直至筒体(1)底部,再螺旋向上,与筒体(1)顶部另一侧的出水管管道(4)连通。
6.根据权利要求2所述的用于单晶生产的高拉速水冷屏,其特征在于,所述内壁(12)上凹凸褶皱的折面角度为45~60°。
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