[实用新型]一种用于单晶生产的高拉速水冷屏

说明书

本实用新型公开了一种用于单晶生产的高拉速水冷屏，包括中部上下贯穿的筒体、位于筒体筒壁中的冷却水水道、以及连接于筒体顶部一侧的进水管管道和连接于筒体顶部另一侧的出水管管道；所述进水管管道、筒体筒壁中的冷却水水道、以及出水管管道依次连通；所述筒体的筒壁包括外壁和内壁，冷却水水道设置于外壁和内壁之间；所述内壁为具有凹凸褶皱的折面。通过筒体内壁折面设计可有效增大散热面积，折面结构增大了水冷屏腔体，进一步增加该水冷屏对于晶棒的冷却效果，实现等径拉速的提高。内壁折面高度及角度的特殊设计可防止水冷屏内壁遮挡CCD及观察窗测径，同时折面向内延伸更加靠近晶棒增加冷却效果。

技术领域

本实用新型属于单晶领域，具体涉及一种用于单晶生产的高拉速水冷屏。

背景技术

随着单晶行业竞争日趋激烈，只有不断提高单小时产出才能立于不败之地。而等径工序在整炉运行时间中占比70％以上，因此提高等径拉速可有效压缩等径时间提高单产。目前行业内利用水冷屏来提高等径拉速已普遍推广。现有各厂家所使用的水冷屏均采用中空金属腔体，内部通入冷却水。这样的结构可保证水冷屏所包围的内部空间处于低温区，从而对晶棒进行冷却，增大晶体生长纵向温度梯度。实现提高等径拉速的目的。现有水冷屏内壁为环形光滑曲面结构，其目的是便于导流同时可防止表面附着硅渣影响成晶。此结构的设计也导致了其散热面积较小。在加上需要考虑CCD相机捕捉直径及操作人员测量直径的需求，因此水冷屏内壁直径通常较大，距离晶棒较远。上述因素导致现有水冷屏对晶棒的冷却效果极其有限，晶体生长的等径拉速继续提高已达到瓶颈。为此设计一种可有效对晶棒进行充分冷却的水冷屏。实现等径拉速的不断提高，增加单小时产出，增加行业竞争力。现有水冷屏水冷腔体小，散热面积小冷却效果较差；水冷屏内壁距离晶棒较远，无法对晶棒进行有效冷却，提升等径拉速已达到瓶颈。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种可有效对晶棒进行充分冷却的水冷屏，实现等径拉速的不断提高，增加单小时产出。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

一种用于单晶生产的高拉速水冷屏，包括中部上下贯穿的筒体、位于筒体筒壁中的冷却水水道、以及连接于筒体顶部一侧的进水管管道和连接于筒体顶部另一侧的出水管管道；所述进水管管道、筒体筒壁中的冷却水水道、以及出水管管道依次连通；

所述筒体的筒壁包括外壁和内壁，冷却水水道设置于外壁和内壁之间；所述内壁为具有凹凸褶皱的折面。

优选地，所述内壁上凹凸褶皱的折面沿纵向依次设置，且指向下方的同一圆心。

具体地，所述冷却水水道为多层上下连通的环形管道，进水管管道自筒体顶部与冷却水水道连通，经环形管道流向下一层，直至筒体底部，再通过向上的环形管道与筒体顶部另一侧的出水管管道连通。

优选地，所述冷却水水道包括位于筒体筒壁顶部和底部的圆环形管道，以及位于中部的半圆环形管道；圆环形管道和半圆环形管道的两侧分别设置连接上下管道的连通口；同一高度的两条半圆环形管道一条用于进水，另一条用于出水。

或者，所述冷却水水道为螺旋管道，进水管管道自筒体顶部与冷却水水道连通，冷却水水道螺旋向下，直至筒体底部，再螺旋向上，与筒体顶部另一侧的出水管管道连通。

优选地，所述内壁上凹凸褶皱的折面角度为45～60°。

有益效果：

本实用新型用于单晶生产的高拉速水冷屏通过筒体内壁折面设计可有效增大散热面积，折面结构增大了水冷屏腔体，进一步增加该水冷屏对于晶棒的冷却效果，实现等径拉速的提高。内壁折面高度及角度的特殊设计可防止水冷屏内壁遮挡CCD及观察窗测径，同时折面向内延伸更加靠近晶棒增加冷却效果。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做更进一步的具体说明，本实用新型的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。