[实用新型]一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置有效

专利信息
申请号: 202021455440.3 申请日: 2020-07-22
公开(公告)号: CN212770923U 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 汪曙新;许元理;唐成军 申请(专利权)人: 深圳市联生佳科技有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市坪*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 镀膜 快速 冷却 装置
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置,其特征在于:包括真空镀膜机主体,真空镀膜机主体上包括有机体外壳(1)和设置在机体外壳(1)内的真空镀膜腔(2)和冷却腔(3),冷却腔(3)设置在真空镀膜腔(2)的下端;冷却腔(3)和真空镀膜腔(2)之间分隔块(5)隔离,分隔块(5)内设置有内腔(511),内腔(511)内安装固定有制冷设备,制冷设备的制冷端朝向真空镀膜腔(2)设置,内腔(511)和真空镀膜腔(2)之间通过多个出风孔(18)相导通,分隔块(5)的表面覆盖固定有一层保护软层(6),保护软层(6)上设置有多条细缝(611),一条细缝(611)和一个导风孔(7)相导通。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置,其特征在于:机体外壳(1)上设置有多个和冷却腔(3)导通的进风孔(8),进风孔(8)处通过螺丝安装固定有防尘网,冷却腔(3)的内壁设置有隔热层(11)和吸热层(12),吸热层(12)和隔热层(11)之间通过隔热板(13)分离,隔热板(13)上开设有多个导风孔(7)。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置,其特征在于:制冷设备包括安装固定在内腔(511)内的风扇支架(15),风扇支架(15)上安装固定有风扇(16),分隔块(5)上设置有多个和内腔(511)导通的连接孔,连接孔的一端和冷却腔(3)相导通,机体外壳(1)的一侧设置有用于控制风扇(16)启停的开关。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置,其特征在于:出风孔(18)的直径自上而下缩小。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置,其特征在于:保护软层(6)采用耐腐蚀的橡胶制成,保护软层(6)通过防水胶固定在分隔块(5)上,分隔块(5)和机体外壳(1)为一体式的结构。

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