[实用新型]一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，包括真空镀膜机主体，真空镀膜机主体上包括有机体外壳和设置在机体外壳内的真空镀膜腔和冷却腔，冷却腔设置在真空镀膜腔的下端；冷却腔和真空镀膜腔之间分隔块隔离，分隔块内设置有内腔，内腔内安装固定有制冷设备，制冷设备的制冷端朝向真空镀膜腔设置，内腔和真空镀膜腔之间通过多个出风孔相导通，分隔块的表面覆盖固定有一层保护软层，保护软层上设置有多条细缝，一条细缝和一个导风孔相导通。本实用新型操作简单，能够快速对真空镀膜机内部进行散热，便于真空镀膜机的后续使用，延长了镀膜机的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机领域，具体涉及一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

现有的真空镀膜机的散热通常采用自然冷却，这样方法降温速度较慢，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏，同时降温时间过长，会大大降低镀膜机的镀膜效率。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是一种能够解决上述问题的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置。

本实用新型是通过以下技术方案来实现的：一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，包括真空镀膜机主体，真空镀膜机主体上包括有机体外壳和设置在机体外壳内的真空镀膜腔和冷却腔，冷却腔设置在真空镀膜腔的下端；冷却腔和真空镀膜腔之间分隔块隔离，分隔块内设置有内腔，内腔内安装固定有制冷设备，制冷设备的制冷端朝向真空镀膜腔设置，内腔和真空镀膜腔之间通过多个出风孔相导通，分隔块的表面覆盖固定有一层保护软层，保护软层上设置有多条细缝，一条细缝和一个导风孔相导通。

作为优选的技术方案，机体外壳上设置有多个和冷却腔导通的进风孔，进风孔处通过螺丝安装固定有防尘网，冷却腔的内壁设置有隔热层和吸热层，吸热层和隔热层之间通过隔热板分离，隔热板上开设有多个导风孔。

作为优选的技术方案，制冷设备包括安装固定在内腔内的风扇支架，风扇支架上安装固定有风扇，分隔块上设置有多个和内腔导通的连接孔，连接孔的一端和冷却腔相导通，机体外壳的一侧设置有用于控制风扇启停的开关。

作为优选的技术方案，出风孔的直径自上而下缩小。

作为优选的技术方案，保护软层采用耐腐蚀的橡胶制成，保护软层通过防水胶固定在分隔块上，分隔块和机体外壳为一体式的结构。

本实用新型的有益效果是：本实用新型操作简单，能够快速对真空镀膜机内部进行散热，便于真空镀膜机的后续使用，延长了镀膜机的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的整体结构图；

图2为本实用新型的保护软层的结构图。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

本说明书包括任何附加权利要求、摘要和附图中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。