[实用新型]一种固晶机用晶圆移动平台有效
| 申请号： | 202021460689.3 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN212209443U | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 温炜 | 申请（专利权）人： | 抚州致晶自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L33/48 |
| 代理公司： | 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 | 代理人： | 金一娴 |
| 地址： | 344000 江西省抚州市临川区科*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 固晶机用晶圆 移动 平台 | ||
1.一种固晶机用晶圆移动平台，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的中部开设有收纳腔(2)，收纳腔(2)的内部安装有移动平台(3)，底板(1)固定安装有固定平台(4)，底板(1)的一端安装有第一调节螺纹杆(5)，底板(1)顶部的一侧安装有水平仪(6)，底板(1)的底部设有安装架(7)，安装架(7)顶部两侧的两端均安装有升降折叠臂(8)和固定块(9)，升降折叠臂(8)的顶部与底板(1)的底部相连接，两个固定块(9)之间安装有第二调节螺纹杆(10)。
2.根据权利要求1所述的一种固晶机用晶圆移动平台，其特征在于：所述移动平台(3)的表面等距离交叉开设有中点胶孔(301)和小点胶孔(302)，固定平台(4)的表面等距离开设有大点胶孔(401)。
3.根据权利要求1所述的一种固晶机用晶圆移动平台，其特征在于：所述底板(1)一端的中部固定安装有第一内螺纹管(502)，第一调节螺纹杆(5)螺纹连接在第一内螺纹管(502)的内部，且第一调节螺纹杆(5)的一端与移动平台(3)一侧的中部转动相连接，第一调节螺纹杆(5)的两侧均固定安装有限位挡板(501)。
4.根据权利要求1所述的一种固晶机用晶圆移动平台，其特征在于：所述安装架(7)顶部同一侧的两个升降折叠臂(8)的中部之间转动连接有连接轴(801)，连接轴(801)的中部固定连接有连接块(802)。
5.根据权利要求1所述的一种固晶机用晶圆移动平台，其特征在于：所述安装架(7)顶部同一侧的两个固定块(9)的相对侧均开设有移动卡槽(901)，两个移动卡槽(901)之间活动卡接有移动条(902)，移动条(902)的中部的固定安装有第二内螺纹管(1001)，第二调节螺纹杆(10)螺纹连接在第二内螺纹管(1001)的内部。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于抚州致晶自动化设备有限公司，未经抚州致晶自动化设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021460689.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种固晶机用漏晶检测装置
- 下一篇：一种电力营销数据采集装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
