[实用新型]一种在基板上形成选择性发射极的制造装置

权利要求书

1.一种在基板上形成选择性发射极的制造装置，其特征在于，包括：

激光发射部，所述激光发射部发射出连续波或准连续波激光束；

光转换部，所述光转换部将所述激光束转换成相应的第一偏光或第二偏光；

偏光镜，所述偏光镜允许未经偏光的所述激光束和经过偏光的激光束中的一种透射通过，并同时阻止另一种通过；

光束扩大部，所述光束扩大部将经由所述偏光镜透射的激光束扩大至设定倍数；

熔融激光发出器，所述熔融激光发出器接受扩大后的激光束并发射出熔融激光束至基板上设定位置；

控制器，所述控制器与所述光转换部电性连接；

箱体，所述箱体上设置有冷却空气进口和出口；

架体，所述架体卡装在所述箱体内的阻尼条之间并与所述阻尼条通过减震螺栓相连接；

其中，所述激光发射部、光转换部、偏光镜、光束扩大部、熔融激光发出器的底座均安装在架体上，所述控制器控制所述光转换部开启或关闭，以使所述熔融激光束在到达预设选择性发射极以外区域时关闭，在到达预设选择性发射极区域时开启。

2.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于，所述制造装置还包括挡光部件和驱动装置，所述驱动装置驱动所述挡光部件动作，以切断或放行所述激光发射部和所述光转换部之间的激光束。

3.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于，所述熔融激光发出器包括扫描振镜和聚光透镜。

4.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于，所述光束扩大部包括变倍扩束镜。

5.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于，所述架体上设置有两个相平行第一立板和第二立板，所述激光发射部、光转换部、偏光镜、光束扩大部、熔融激光发出器的底座两端均通过调节式卡槽安装在所述第一立板和所述第二立板上。

6.根据权利要求5所述的制造装置，其特征在于，所述调节式卡槽包括：卡槽本体、阻尼件和至少两个调节体，所述阻尼件安装在所述卡槽本体的卡槽内，所述底座定位安装在所述阻尼件内，所述至少两个调节体从上往下抵靠压紧在所述底座上。

7.根据权利要求6所述的制造装置，其特征在于，所述底座上与所述调节体相对应的位置设置有凹槽，所述凹槽内安装有阻尼板，所述调节体螺纹连接安装在所述卡槽本体上，且端部顶紧在所述阻尼板上。

8.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于，所述熔融激光束的线宽大于10μm，且小于20μm。