[实用新型]一种合成炉测温结构有效
| 申请号： | 202021467889.1 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN213481565U | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 许振华;罗福敏;李勇;刘留;苏小平 | 申请（专利权）人： | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01K1/14 | 分类号： | G01K1/14;G01K1/12 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 404040 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合成 测温 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种合成炉测温结构，其特征在于：包括设置于堵头上的测温器，所述测温器位于合成炉内壁与石英管外壁之间，且测温器沿合成炉轴向延伸。
2.根据权利要求1所述的一种合成炉测温结构，其特征在于：所述测温器的探头与石英管的外壁之间具有间隙。
3.根据权利要求2所述的一种合成炉测温结构，其特征在于：所述堵头上开设有测温孔，所述测温器设置于测温孔内。
4.根据权利要求3所述的一种合成炉测温结构，其特征在于：所述测温器滑动穿设在测温孔内。
5.根据权利要求3所述的一种合成炉测温结构，其特征在于：所述测温孔的个数至少为两个。
6.根据权利要求5所述的一种合成炉测温结构，其特征在于：若干个所述测温孔均位于堵头的上部，且各个测温孔呈弧形排列。
7.根据权利要求6所述的一种合成炉测温结构，其特征在于：所述合成炉的前炉口和后炉口的堵头上均设置有所述测温器。
8.根据权利要求7所述的一种合成炉测温结构，其特征在于：所述合成炉的前炉口的堵头上的测温孔个数为五个。
9.根据权利要求7或8所述的一种合成炉测温结构，其特征在于：所述合成炉的后炉口的堵头上的测温孔个数为两个。
10.根据权利要求1所述的一种合成炉测温结构，其特征在于：所述堵头呈锥形，其小径端位于合成炉内、大径端位于合成炉外。
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