[实用新型]一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置

权利要求书

1.一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，其特征在于，包括支撑框架，所述支撑框架下部一侧设有研磨液存储装置，另一侧设有纯净水存储桶，所述支撑框架上部一侧设有三通转换阀门，另一侧设有流量控制泵；所述研磨液存储装置通过输液管路与三通转换阀门的A口相连，所述纯净水存储桶通过输水管路与三通转换阀门的B口相连，所述三通转换阀门的C口连接输出管路，所述输出管路与流量控制泵相连；所述支撑框架的底板上还设有变频电机，该变频电机输出轴的端部伸进研磨液存储装置中，所述端部设有搅拌桨叶。

2.根据权利要求1所述一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，其特征在于，所述研磨液存储装置，包括研磨液存储桶，该研磨液存储桶顶部设有进液口，所述进液口外周设有凸起，该凸起与进液口侧壁形成卡台，在卡台上设有过滤网，进液盖体盖合在凸起上。

3.根据权利要求2所述一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，其特征在于，所述研磨液存储桶的其中一个拐角处下部设有三菱形凹槽，在所述三菱形凹槽的顶面和底面对称设有接头，两个接头之间连接有透明连接管，所述透明连接管底部设有液位传感器，所述液位传感器与电气箱相连。

4.根据权利要求1所述一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，其特征在于，所述纯净水存储桶的其中一个拐角处下部设有三菱形凹槽，在所述三菱形凹槽的顶面和底面对称设有接头，两个接头之间连接有透明连接管。

5.根据权利要求1所述一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，其特征在于，所述支撑框架的底板下面四周分别设有可固定滑轮。

6.根据权利要求2所述一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，其特征在于，在研磨液存储桶顶部还设有出液口，该出液口连接输液管路；在研磨液存储桶一侧底部设有排液口。

7.根据权利要求4所述一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，其特征在于，在纯净水存储桶顶部设有进液口和出液口，所述进液口与外部纯净水供水管相连接，所述出液口与输水管路相连，在纯净水存储桶一侧底部设有排液口。

8.根据权利要求1所述一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，其特征在于，所述变频电机与电气箱相连，该电气箱位于支撑框架一端的外壁上。

9.根据权利要求1所述一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，其特征在于，所述输出管路一端伸出支撑框架裸露在外。

10.根据权利要求6或7所述一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，其特征在于，所述输液管路伸进研磨液存储桶下部，输水管路伸进纯净水存储桶下部。