[实用新型]用于聚焦离子束制样的样品台和具有其的制样设备

权利要求书

1.一种用于聚焦离子束制样的样品台，其特征在于，包括：

承载支架，所述承载支架适于承载第一尺寸晶圆；

承载台，所述承载台设在所述承载支架上且适于承载第二尺寸晶圆，其中，所述第一尺寸晶圆大于所述第二尺寸晶圆，所述承载台用于承载所述第二尺寸晶圆的承载面不超出所述承载支架用于承载所述第一尺寸晶圆的承载面，且在所述承载支架的厚度方向上，所述承载台用于承载所述第二尺寸晶圆的承载面不低于所述承载支架用于承载所述第一尺寸晶圆的承载面。

2.根据权利要求1所述的用于聚焦离子束制样的样品台，其特征在于，所述承载台用于承载所述第二尺寸晶圆的承载面与所述承载支架用于承载所述第一尺寸晶圆的承载面平齐。

3.根据权利要求1所述的用于聚焦离子束制样的样品台，其特征在于，所述承载台由导电材料制成。

4.根据权利要求3所述的用于聚焦离子束制样的样品台，其特征在于，所述承载台为铝板。

5.根据权利要求1所述的用于聚焦离子束制样的样品台，其特征在于，还包括导电固定件，所述承载台通过所述导电固定件与所述承载支架连接。

6.根据权利要求5所述的用于聚焦离子束制样的样品台，其特征在于，所述导电固定件为金属卡扣和/或金属螺钉。

7.根据权利要求1所述的用于聚焦离子束制样的样品台，其特征在于，所述承载台适于与所述第二尺寸晶圆通过导电胶带连接。

8.根据权利要求1所述的用于聚焦离子束制样的样品台，其特征在于，所述承载台设在所述承载支架的中心位置处。

9.根据权利要求1所述的用于聚焦离子束制样的样品台，其特征在于，所述承载支架的边缘处设有用于固定所述第一尺寸晶圆的卡接部。

10.根据权利要求9所述的用于聚焦离子束制样的样品台，其特征在于，所述卡接部为多个且沿所述承载支架的周向隔开设置。

11.根据权利要求1所述的用于聚焦离子束制样的样品台，其特征在于，所述承载台嵌设在所述承载支架内。

12.根据权利要求11所述的用于聚焦离子束制样的样品台，其特征在于，所述承载支架上形成有顶部敞开的凹槽，所述承载台设在所述凹槽内且与所述承载支架固定连接。

13.一种聚焦离子束制样设备，其特征在于，包括权利要求1-12中任一项所述的用于聚焦离子束制样的样品台。