[实用新型]一种晶片抛光用抛光垫

权利要求书

1.一种晶片抛光用抛光垫，包括抛光盘（1），其特征在于：所述抛光盘（1）的上表面固定连接有大凸起块（2），所述抛光盘（1）的上表面固定连接有圆周阵列的小凸起块（3），所述抛光盘（1）的底面设有固定板（6），所述固定板（6）的上表面固定连接有环氧树脂薄板（7），所述环氧树脂薄板（7）的上表面粘接有粘结胶板（8），所述粘结胶板（8）的上表面与抛光盘（1）的底面相粘接，所述固定板（6）的上表面固定连接有魔术贴母面（5），所述抛光盘（1）的底面固定连接有魔术贴子面（4），且魔术贴子面（4）和魔术贴母面（5）相粘接，所述固定板（6）的内壁开设有圆周阵列的开槽（13）；

所述抛光盘（1）的底面固定连接有定位柱（16），所述定位柱（16）的外表面开设有圆周阵列的半球槽（12），每个所述开槽（13）的内侧壁均固定连接有压簧（14），每个所述开槽（13）的内壁均滑动连接有连接块（20），每个所述压簧（14）靠近连接块（20）的一端均与连接块（20）的一侧面固定连接，每个所述连接块（20）远离压簧（14）的一侧面均固定俺邻居有半球块（17），且半球块（17）插接于半球槽（12）的内部，所述固定板（6）的底面固定连接有热塑性聚氨酯板（9），所述热塑性聚氨酯板（9）的底面固定连接有固定底盘（10）。

2.根据权利要求1所述的一种晶片抛光用抛光垫，其特征在于：每个所述开槽（13）的内顶壁和内底壁均开设有限位滑槽（15），每个所述连接块（20）的上表面和底面均固定连接有滑块（18），且滑块（18）与限位滑槽（15）的内壁滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶片抛光用抛光垫，其特征在于：所述环氧树脂薄板（7）的内壁固定连接有橡胶套（21），且橡胶套（21）的外表面与粘结胶板（8）的内壁固定连接，所述定位柱（16）的外表面与橡胶套（21）的内壁相贴。

4.根据权利要求1所述的一种晶片抛光用抛光垫，其特征在于：每个所述连接块（20）靠近压簧（14）的一侧面和开槽（13）的内侧壁均固定连接有限位块（19），且压簧（14）缠绕于限位块（19）的外表面。

5.根据权利要求1所述的一种晶片抛光用抛光垫，其特征在于：所述固定板（6）的底面固定镶嵌有等距离排列的连接筋（11），每个所述连接筋（11）的底面均与热塑性聚氨酯板（9）的上表面固定镶嵌。