[实用新型]一种晶片抛光用抛光垫

说明书

本实用新型公开了一种晶片抛光用抛光垫，涉及抛光垫技术领域，包括抛光盘，所述抛光盘的上表面固定连接有大凸起块，所述抛光盘的上表面固定连接有圆周阵列的小凸起块，所述抛光盘的底面设有固定板，所述固定板的上表面固定连接有环氧树脂薄板，所述环氧树脂薄板的上表面粘接有粘结胶板，所述粘结胶板的上表面与抛光盘的底面相粘接，所述固定板的上表面固定连接有魔术贴母面。本实用新型设计结构合理，它能够使抛光盘的粘接更加牢固，使抛光盘长时间使用后也能够具有稳定性，从而取代了普通的粘接方式，提高了抛光盘的使用寿命，使抛光盘起到了限位效果，使抛光盘在转动时能够更加的稳定，从而有效的防止抛光盘出现断裂脱落现象。

技术领域

本实用新型涉及抛光垫技术领域，具体是一种晶片抛光用抛光垫。

背景技术

抛光垫又称抛光皮，抛光布，抛光片，化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料，抛光可以改善晶片表面的粗糙度，降低晶片的TTV，在晶片表面实现超高的平整度，对于一些光学用晶片还能提高其对光的利用率。

一般的抛光盘在进行粘接时仅通过普通粘胶方式进行连接，由于普通的抛光盘并无设置有限位装置，在长时间使用后容易出现变形，严重时还会发生断裂脱落现象，从而降低了抛光垫的使用寿命。为此，我们提供了晶片抛光用抛光垫解决以上问题。

实用新型内容

一）解决的技术问题

本实用新型的目的就是为了弥补现有技术的不足，提供了一种晶片抛光用抛光垫。

二）技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶片抛光用抛光垫，包括抛光盘，所述抛光盘的上表面固定连接有大凸起块，所述抛光盘的上表面固定连接有圆周阵列的小凸起块，所述抛光盘的底面设有固定板，所述固定板的上表面固定连接有环氧树脂薄板，所述环氧树脂薄板的上表面粘接有粘结胶板，所述粘结胶板的上表面与抛光盘的底面相粘接，所述固定板的上表面固定连接有魔术贴母面，所述抛光盘的底面固定连接有魔术贴子面，且魔术贴子面和魔术贴母面相粘接，所述固定板的内壁开设有圆周阵列的开槽。

所述抛光盘的底面固定连接有定位柱，所述定位柱的外表面开设有圆周阵列的半球槽，每个所述开槽的内侧壁均固定连接有压簧，每个所述开槽的内壁均滑动连接有连接块，每个所述压簧靠近连接块的一端均与连接块的一侧面固定连接，每个所述连接块远离压簧的一侧面均固定俺邻居有半球块，且半球块插接于半球槽的内部，所述固定板的底面固定连接有热塑性聚氨酯板，所述热塑性聚氨酯板的底面固定连接有固定底盘。

进一步的，每个所述开槽的内顶壁和内底壁均开设有限位滑槽，每个所述连接块的上表面和底面均固定连接有滑块，且滑块与限位滑槽的内壁滑动连接。

进一步的，所述环氧树脂薄板的内壁固定连接有橡胶套，且橡胶套的外表面与粘结胶板的内壁固定连接，所述定位柱的外表面与橡胶套的内壁相贴。

进一步的，每个所述连接块靠近压簧的一侧面和开槽的内侧壁均固定连接有限位块，且压簧缠绕于限位块的外表面。

进一步的，所述固定板的底面固定镶嵌有等距离排列的连接筋，每个所述连接筋的底面均与热塑性聚氨酯板的上表面固定镶嵌。

三）有益效果：

与现有技术相比，该晶片抛光用抛光垫具备如下有益效果：

一、本实用新型通过固定板、魔术贴母面、魔术贴子面、环氧树脂薄板和粘结胶板之间的配合设置，能够使抛光盘的粘接更加牢固，使抛光盘长时间使用后也能够具有稳定性，从而取代了普通的粘接方式，提高了抛光盘的使用寿命。