[实用新型]一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置

权利要求书

1.一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，其特征在于，包括真空反应炉、热丝支架一、热丝支架二、电极柱一、电极柱二、热丝、若干个工作台、支柱、固定板和电机，工作台之间通过支柱连接，固定板位于薄膜沉积装置的顶部和底部，顶部和底部的固定板分别与支柱连接，顶部的固定板上端面设有热丝支架一，热丝支架一的一端安装电极柱一，底部的固定板上安装电极柱二，热丝支架二固定在电极柱二的顶部，热丝固定在热丝支架一上，热丝穿过工作台和热丝支架二，热丝的底部与拉伸装置连接，位于底部的固定板下端与电机的转轴连接，电极柱一和电极柱二分别与外接电源的正负极连接，热丝支架一、热丝支架二、电极柱一、电极柱二、热丝、工作台、支柱、固定板均位于真空反应炉内。

2.如权利要求1所述的一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，其特征在于，热丝支架一和热丝支架二上均设有多个热丝孔，热丝支架一上还设有与热丝孔连通的热丝固定孔。

3.如权利要求1所述的一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，其特征在于，所述工作台包括圆环底板、若干个同心的环形圈和支柱连接柱，环形圈之间形成工作槽，直径最小的环形圈直径大于等于圆环底板中心的孔直径，若干个同心的环形圈位于圆环底板的同一侧，支柱连接柱圆周分布且分布在环形圈的外围，所述圆环底板的两端均设有支柱连接柱，支柱固定在支柱连接柱内，热丝穿过圆环底板中心的孔。

4.如权利要求3所述的一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，其特征在于，位于直径最小的环形圈外部的环形圈设有均匀分布的槽，其中一个环形圈的槽位于相邻环形圈的两个相邻槽的中间位置；环形圈的高度随着环形圈的直径增加逐渐递增。

5.如权利要求1所述的一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，其特征在于，所述拉伸装置为高温弹簧或重物。

6.如权利要求1所述的一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，其特征在于，所述热丝支架一的热丝孔朝下，安装在热丝支架一上的电极柱一横置。

7.如权利要求1所述的一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，其特征在于，环形圈之间形成环形槽，经过预处理的中空零件固定放于工作台的环形槽中，热丝的方向与中空零件内壁的轴平行。

8.如权利要求1所述的一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，其特征在于，电机的转轴具有中空薄壁结构，电极柱二通过转轴与外界电源相连。

9.如权利要求8所述的一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，其特征在于，电极柱二的长度长于转轴。