[实用新型]一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置

说明书

本实用新型实施例公开一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，包括真空反应炉、热丝支架一、热丝支架二、电极柱一、电极柱二、热丝、若干个工作台、支柱、固定板和电机，工作台之间通过支柱连接，固定板位于薄膜沉积装置的顶部和底部，顶部和底部的固定板分别与支柱连接，顶部的固定板上端面设有热丝支架一，热丝支架一的一端安装电极柱一，底部的固定板上安装电极柱二，热丝支架二固定在电极柱二的顶部，热丝固定在热丝支架一上，热丝穿过工作台和热丝支架二，热丝的底部与拉伸装置连接，位于底部的固定板下端与电机的转轴连接，电极柱一和电极柱二与外接电源连接,本实用新型可以对多个中空零件的内壁同时进行沉积，沉积效率高。

技术领域

本实用新型涉及热丝气相沉积技术领域，特别涉及一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置。

背景技术

热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜的基本原理如下：碳源(如甲烷、丙酮等)和氢气的混合气体通过金属热丝，在由热丝形成的高温领域内分解出甲基和氢原子，并在一定的压力下，大量的甲基与一定温度的合金衬底作用以及甲基之间发生复杂的复合反应，生成各种sp、sp²和sp³杂化的碳氢基团。由于氢原子对sp²键结构碳有很强的刻蚀作用，因而抑制了石墨的生成；同时氢原子对sp³键结构碳的刻蚀作用较小，且具有一定的稳定作用，所以最终沉积在衬底上的是热力学不稳定的金刚石，而非热力学稳定的石墨，进而在衬底表面形成金刚石薄膜。要得到品质良好的金刚石薄膜需要在合适的温度以及稳定的温度场下裂解混合气体产生氢原子以及各种碳氢基团。

目前现有的沉积装置，一次只能对单个的中空零件的内壁进行沉积，沉积效率低，无法根据内径不同的中空零件进行涂层，因此灵活性差，生产效率低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，对多个中空零件的内壁同时进行沉积，沉积效率高。

本实用新型实施例公开一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，包括真空反应炉、热丝支架一、热丝支架二、电极柱一、电极柱二、热丝、若干个工作台、支柱、固定板和电机，工作台之间通过支柱连接，固定板位于薄膜沉积装置的顶部和底部，顶部和底部的固定板分别与支柱连接，顶部的固定板上端面设有热丝支架一，热丝支架一的一端安装电极柱一，底部的固定板上安装电极柱二，热丝支架二固定在电极柱二的顶部，热丝固定在热丝支架一上，热丝穿过工作台和热丝支架二，热丝的底部与拉伸装置连接，位于底部的固定板下端与电机的转轴连接，电极柱一和电极柱二分别与外接电源的正负极连接，热丝支架一、热丝支架二、电极柱一、电极柱二、热丝、工作台、支柱、固定板均位于真空反应炉内。

进一步的，热丝支架一和热丝支架二上均设有多个热丝孔，热丝支架一上还设有与热丝孔连通的热丝固定孔。

进一步的，所述热丝支架一和电极柱一装卸式的设置于固定板的上部。

进一步的，所述工作台包括圆环底板、若干个同心的环形圈和支柱连接柱，环形圈之间形成工作槽，直径最小的环形圈的直径大于等于圆环底板中心的孔直径，若干个同心的环形圈位于圆环底板的同一侧，支柱连接柱圆周分布且分布在环形圈的外围，所述圆环底板的两端均设有支柱连接柱，支柱固定在支柱连接柱内，热丝穿过圆环底板中心的孔。

进一步的，位于直径最小的环形圈外部的环形圈设有均匀分布的槽，其中一个环形圈的槽位于相邻环形圈的两个相邻槽的中间位置；环形圈的高度随着环形圈的直径增加逐渐递增。

进一步的，所述拉伸装置为高温弹簧或重物。

进一步的，所述热丝支架一的热丝孔朝下，安装在热丝支架一上的电极柱横置。

进一步的，环形圈之间形成环形槽，经过预处理的中空零件固定放于工作台的环形槽中，热丝的方向与中空零件内壁的轴平行。