[实用新型]一种光刻机四个扫描头的工作机构

权利要求书

1.一种光刻机四个扫描头的工作机构，包括基座(1)和放置板(2)，所述基座(1)与放置板(2)之间呈矩形连接有四个伸缩杆(3)，其特征在于：所述放置板(2)上设有曝光区域边槽(4)，且曝光区域边槽(4)上设有安装板(5)，所述安装板(5)底部连接有多个转动杆(6)，所述转动杆(6)底部连接有扫描头本体(7)，多个所述扫描头本体(7)外侧设有带动多个扫描头本体(7)以不同的转速进行扫描处理的调速组件(8)，且调速组件(8)与放置板(2)连接，所述放置板(2)顶部连接有带动调速组件(8)运动的传动组件(9)，且传动组件(9)与调速组件(8)连接。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机四个扫描头的工作机构，其特征在于：所述调速组件(8)包括安装在放置板(2)顶部的环形圈(10)，所述曝光区域边槽(4)顶部设有安装凹槽(11)，且环形圈(10)底部转动连接在安装凹槽(11)内部，所述环形圈(10)内侧壁上连接有第一齿圈(12)，多个转动杆(6)外侧分别套接有不同直径的调速齿轮(13)，且调速齿轮(13)与第一齿圈(12)相互啮合，所述环形圈(10)外侧壁上连接有多个第二齿圈(14)，且第二齿圈(14)与传动组件(9)一端连接。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机四个扫描头的工作机构，其特征在于：所述传动组件(9)包括安装在放置板(2)顶部的电机(15)，所述电机(15)的输出端连接有驱动齿轮(16)，所述电机(15)的一侧设有传动转轴(17)，且传动转轴(17)与放置板(2)顶部转动连接，所述传动转轴(17)外侧套接有从动齿轮(18)，且从动齿轮(18)与第二齿圈(14)相互啮合，所述从动齿轮(18)顶部设有带动齿轮(19)，且带动齿轮(19)套接在传动转轴(17)外侧，所述驱动齿轮(16)与带动齿轮(19)相互啮合。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机四个扫描头的工作机构，其特征在于：所述曝光区域边槽(4)上连接有滤光板(20)，且滤光板(20)底部连接有扫描板(21)，且扫描板(21)上设有多个通孔(22)。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机四个扫描头的工作机构，其特征在于：所述基座(1)顶部设有放置晶圆的沉槽(23)。