[实用新型]一种光刻机四个扫描头的工作机构

说明书

本实用新型公开了一种光刻机四个扫描头的工作机构，包括基座和放置板，且曝光区域边槽上设有安装板，安装板底部连接有多个转动杆，所述转动杆底部连接有扫描头本体，多个所述扫描头本体外侧设有带动多个扫描头本体以不同的转速进行扫描处理的调速组件，且调速组件与放置板连接，所述放置板顶部连接有带动调速组件运动的传动组件，且传动组件与调速组件连接，此通过所设的传动组件带动所设的调速组件，进而实现对多个扫描头本体以不同的转速进行转动，便于实现不同扫描头本体在光刻机本体的带动作用下实现对以不同的转速对扫描区域进行扫描曝光处理，提高了多个扫描头本体在扫描区域以不同的转速扫描的效率。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机四个扫描头的工作机构。

背景技术

光刻机(Mask Aligner)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，其中光刻机按照投影式分类可分为扫描投影曝光和步进重复投影曝光，其中扫描投影式曝光，是在光刻机处安装相应的扫描头，通过扫描头扫描的方式便于光刻机的曝光。

现有的曝光式光刻机在扫描曝光时，将待光刻的晶圆部分放置在扫描头底部，扫描头透过掩模的曝光区域对于晶圆部分进行扫描曝光，在光刻机机头部分同时携带多个不同扫描头时，因为多个扫描头同时安装在光刻机的移动端头位置处，光刻机的移动端头沿着曝光区域进行移动曝光时，多个扫描头随之以相同的转速沿着曝光区域对晶圆部分进行曝光光刻处理，不便于控制扫描光刻机分别以不同的转速带动不同区域的扫描头沿着曝光区域进行曝光扫描，为此，我们提出一种光刻机四个扫描头的工作机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机四个扫描头的工作机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机四个扫描头的工作机构，包括基座和放置板，所述基座与放置板之间呈矩形连接有四个伸缩杆，所述放置板上设有曝光区域边槽，且曝光区域边槽上设有安装板，所述安装板底部连接有多个转动杆，所述转动杆底部连接有扫描头本体，多个所述扫描头本体外侧设有带动多个扫描头本体以不同的转速进行扫描处理的调速组件，且调速组件与放置板连接，所述放置板顶部连接有带动调速组件运动的传动组件，且传动组件与调速组件连接，有利于在使用多个扫描头进行扫描处理时，便于以不同的转速实现扫描处理。

优选的，所述调速组件包括安装在放置板顶部的环形圈，所述曝光区域边槽顶部设有安装凹槽，且环形圈底部转动连接在安装凹槽内部，所述环形圈内侧壁上连接有第一齿圈，多个转动杆外侧分别套接有不同直径的调速齿轮，且调速齿轮与第一齿圈相互啮合，所述环形圈外侧壁上连接有多个第二齿圈，且第二齿圈与传动组件一端连接，便于同时带动多个扫描头本体以不同的转速进行扫描处理。

优选的，所述传动组件包括安装在放置板顶部的电机，所述电机的输出端连接有驱动齿轮，所述电机的一侧设有传动转轴，且传动转轴与放置板顶部转动连接，所述传动转轴外侧套接有从动齿轮，且从动齿轮与第二齿圈相互啮合，所述从动齿轮顶部设有带动齿轮，且带动齿轮套接在传动转轴外侧，所述驱动齿轮与带动齿轮相互啮合，有利于通过电机同时环形圈进行转动。

优选的，所述曝光区域边槽上连接有滤光板，且滤光板底部连接有扫描板，且扫描板上设有多个通孔，有利于曝光时避免外界光源对曝光的影响。

优选的，所述基座顶部设有放置晶圆的沉槽，便于晶圆的放置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型当使用光刻机进行扫描光刻时，通过所设的传动组件带动所设的调速组件，进而实现对多个扫描头本体以不同的转速进行转动，便于实现不同扫描头本体在光刻机本体的带动作用下实现对以不同的转速对扫描区域进行扫描曝光处理，提高了多个扫描头本体在扫描区域以不同的转速扫描的效率。

附图说明