[实用新型]一种光刻机的自动对焦的工作装置

权利要求书

1.一种光刻机的自动对焦的工作装置，包括基座(1)和活动板(4)，所述活动板(4)的下方安装有对焦装置(5)，其特征在于：所述基座(1)的顶部一侧安装有电磁滑轨(2)，所述电磁滑轨(2)上活动设置有用于实现对焦装置(5)的高度进行调节的高度调节装置(3)，所述对焦装置(5)上设置有用于对其左右对焦调节的滑动组件(6)，所述基座(1)的顶部设置有用于对不同尺寸大小的基片进行固定的固定装置(7)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的自动对焦的工作装置，其特征在于：所述高度调节装置(3)包括壳体(8)和第一电机(9)，所述壳体(8)固定在电磁滑轨(2)上，所述第一电机(9)固定在壳体(8)的内腔底部，所述第一电机(9)的输出轴通过联轴器固定连接有第一丝杆(10)，所述第一丝杆(10)的顶端固定连接有转轴，且转轴通过轴承与壳体(8)转动连接，所述第一丝杆(10)上螺纹连接有螺纹块(11)，所述壳体(8)靠近对焦装置(5)的一侧开设有第一滑槽(13)，所述螺纹块(11)的一侧固定连接有与第一滑槽(13)相适配的第一滑块(12)，所述第一滑块(12)的一端与活动板(4)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机的自动对焦的工作装置，其特征在于：所述滑动组件(6)包括固定板(14)和气缸(15)，所述固定板(14)固定连接在活动板(4)的底部一侧，所述气缸(15)通过螺栓与固定板(14)固定连接，所述气缸(15)的伸缩端贯穿固定板(14)的中部并向外延伸，且活动连接有移动板(16)，所述对焦装置(5)固定安装在移动板(16)的底部，所述移动板(16)的顶部固定连接有第二滑块(17)，所述活动板(4)的底部开设有与第二滑块(17)相适配的第二滑槽(18)。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机的自动对焦的工作装置，其特征在于：所述移动板(16)靠近固定板(14)的一侧呈矩形分布有四组防脱杆(19)，且四组防脱杆(19)远离移动板(16)的一端穿过固定板(14)的内部，并固定连接有挡块(20)。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机的自动对焦的工作装置，其特征在于：所述固定装置(7)包括支撑板(21)和第二电机(22)，所述支撑板(21)设置为两组，且两组支撑板(21)对称固定在基座(1)的顶部，所述第二电机(22)固定在其中一组支撑板(21)的一侧，所述第二电机(22)的输出轴通过轴承间隙配合在支撑板(21)上开设的轴孔内，且通过联轴器固定连接有第二丝杆(23)，两组所述支撑板(21)之间的第二丝杆(23)上对称设置有联动板(24)，且联动板(24)上开设有与第二丝杆(23)螺纹旋向相反的内螺纹，所述联动板(24)相对的一侧阵列分布有多个弹簧(25)，且弹簧(25)远离联动板(24)的一端固定连接有压板(26)。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机的自动对焦的工作装置，其特征在于：两组所述支撑板(21)相对的一侧之间固定连接有限位杆(27)，所述限位杆(27)贯穿联动板(24)的内部，并与联动板(24)滑动连接。