[实用新型]一种光刻机的自动对焦的工作装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻机的自动对焦的工作装置，包括基座和活动板，所述活动板的下方安装有对焦装置，所述基座的顶部一侧安装有电磁滑轨，所述电磁滑轨上活动设置有用于实现对焦装置的高度进行调节的高度调节装置，所述对焦装置上设置有用于对其左右对焦调节的滑动组件，所述基座的顶部设置有用于对不同尺寸大小的基片进行固定的固定装置，此光刻机的自动对焦的工作装置，改变了传统的对焦装置高度不易调节的方式，利用设置的高度调节装置，使得该对焦装置在对焦时可调节高度，进而提高对焦效率，并由电磁滑轨和滑动组件的配合，能实现对焦装置的前后左右位置进行自动调节，更进一步的完成精准的对焦工作。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机的自动对焦的工作装置。

背景技术

光刻机是全息防伪、衍射光学元件和微光学元件制造以及集成电路和微电子元件制造的关键设备，光刻技术是推动微光学和微电子技术发展的核心动力，其主要作用是进行曝光。在曝光的过程中，由于感光材料本身和涂敷感光材料的基底存在起伏，厚度存在差异，以及投影镜头的焦平面位置存在偏差时，会严重影响最终生成的图像质量，无法生产出高质量的光刻产品。因此，必须控制投影微缩镜头的对焦，使得整个曝光过程中，感光材料表面位于投影镜头的成像平面上，保证成像在感光材料表面的图像是最清晰的。传统的对焦装置在对焦时不可调节高度，进而降低对焦效率，且现有的光刻机对焦装置对应固定装置只能对固定大小的基片进行夹取固定，无法对不同尺寸大小的基片进行固定，降低了实用性，进而使得对焦不够精准。为此，我们提出一种光刻机的自动对焦的工作装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机的自动对焦的工作装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机的自动对焦的工作装置，包括基座和活动板，所述活动板的下方安装有对焦装置，所述基座的顶部一侧安装有电磁滑轨，所述电磁滑轨上活动设置有用于实现对焦装置的高度进行调节的高度调节装置，所述对焦装置上设置有用于对其左右对焦调节的滑动组件，所述基座的顶部设置有用于对不同尺寸大小的基片进行固定的固定装置。

优选的，所述高度调节装置包括壳体和第一电机，所述壳体固定在电磁滑轨上，所述第一电机固定在壳体的内腔底部，所述第一电机的输出轴通过联轴器固定连接有第一丝杆，所述第一丝杆的顶端固定连接有转轴，且转轴通过轴承与壳体转动连接，所述第一丝杆上螺纹连接有螺纹块，所述壳体靠近对焦装置的一侧开设有第一滑槽，所述螺纹块的一侧固定连接有与第一滑槽相适配的第一滑块，所述第一滑块的一端与活动板固定连接

优选的，所述滑动组件包括固定板和气缸，所述固定板固定连接在活动板的底部一侧，所述气缸通过螺栓与固定板固定连接，所述气缸的伸缩端贯穿固定板的中部并向外延伸，且活动连接有移动板，所述对焦装置固定安装在移动板的底部，所述移动板的顶部固定连接有第二滑块，所述活动板的底部开设有与第二滑块相适配的第二滑槽。

优选的，所述移动板靠近固定板的一侧呈矩形分布有四组防脱杆，且四组防脱杆远离移动板的一端穿过固定板的内部，并固定连接有挡块。

优选的，所述固定装置包括支撑板和第二电机，所述支撑板设置为两组，且两组支撑板对称固定在基座的顶部，所述第二电机固定在其中一组支撑板的一侧，所述第二电机的输出轴通过轴承间隙配合在支撑板上开设的轴孔内，且通过联轴器固定连接有第二丝杆，两组所述支撑板之间的第二丝杆上对称设置有联动板，且联动板上开设有与第二丝杆螺纹旋向相反的内螺纹，所述联动板相对的一侧阵列分布有多个弹簧，且弹簧远离联动板的一端固定连接有压板。

优选的，两组所述支撑板相对的一侧之间固定连接有限位杆，所述限位杆贯穿联动板的内部，并与联动板滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：