[实用新型]一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具

权利要求书

1.一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具，其特征在于：该真空氦检漏工具包括主抽气系统(1)、前级抽气系统(2)、氦质谱检漏仪(3)、主抽气支路(4)、粗真空抽气支路(5)和前级抽气支路(6)；

主抽气系统(1)包括主抽气支路(4)，主抽气支路(4)包括超高真空气动插板阀V1-1、涡轮分子泵P1-1、高真空气动挡板阀V4-1，超高真空气动插板阀V1-1的前端和真空室(7)连接，超高真空气动插板阀V1-1的后端与涡轮分子泵P1-1、高真空气动挡板阀V4-1依次连接；

前级抽气系统(2)包括粗真空抽气支路(5)和前级抽气支路(6)，前级抽气支路(6)的超高真空气动插板阀V2-1的前端和主抽气支路(4)高真空气动挡板阀V4-1的后端连接，粗真空抽气支路(5)的超高真空气动插板阀V3-1、V3-2和主抽气支路(4)高真空气动挡板阀V4-1的后端连接；

氦质谱检漏仪(3)与前级抽气支路(6)连接。

2.根据权利要求1所述的一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具，其特征在于：所述的主抽气支路(4)中超高真空气动插板阀V1-1的前端通过超高真空金属密封法兰与真空室(7)连接，后端通过超高真空氟橡胶密封法兰与涡轮分子泵P1-1进气口连接，涡轮分子泵P1-1的出气口通过超高真空氟橡胶密封法兰与高真空气动挡板阀V4-1前端连接。

3.根据权利要求2所述的一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具，其特征在于：所述的粗真空抽气支路(5)中两台超高真空气动插板阀V3-1、V3-2的前端分别与高真空气动挡板阀V4-1的后端相连，超高真空气动插板阀V3-1、V3-2的后端分别与两台罗茨真空泵P4-1、P4-2进气口连接，罗茨真空泵P4-1、P4-2出气口分别连接旋片泵P5-1、P5-2。

4.根据权利要求3所述的一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具，其特征在于：所述的前级抽气支路(6)的超高真空气动插板阀V2-1的前端与主抽气支路(4)高真空气动挡板阀V4-1的后端连接，超高真空气动插板阀V2-1的后端与涡轮分子泵P3-1连接，分子泵P3-1出气口连接到真空腔室C1-1，真空腔室C1-1的另一端通过高真空气动挡板阀V6-5、V6-6分别与直联泵P6-1、P6-2进气口连接。

5.根据权利要求4所述的一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具，其特征在于：所述的氦质谱检漏仪(3)通过高真空挡板阀V6-1与真空腔体C1-1相连。

6.根据权利要求5所述的一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具，其特征在于：所述的前级抽气支路(6)有若干个。

7.根据权利要求6所述的一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具，其特征在于：所述的主抽气支路(4)有若干个。

8.根据权利要求7所述的一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具，其特征在于：所述的前级抽气支路(6)中的涡轮分子泵P3-1和直联泵P6-1、P6-2将主抽气支路(4)中涡轮分子泵P1-1抽出的气体分级抽到大气环境中。