[实用新型]一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具

说明书

本实用新型属于核聚变真空检漏技术领域，具体涉及一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具，该真空氦检漏工具包括主抽气系统、前级抽气系统、氦质谱检漏仪、主抽气支路、粗真空抽气支路和前级抽气支路；主抽气系统包括若干个主抽气支路，前级抽气系统包括粗真空抽气支路和若干个前级抽气支路，氦质谱检漏仪与前级抽气支路连接。本实用新型可以快速的查找出聚变反应装置真空室上出现的微小漏气点，防止微小漏气点影响聚变装置正常的等离子体放电实验，造成聚变装置停止运行，对聚变装置周围的真空设备及诊断设备造成物理性破坏。

技术领域

本实用新型属于核聚变真空检漏技术领域，具体涉及一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具。

背景技术

未来聚变反应装置要保证长时间安全地运行，首先要确保产生与维持等离子体运行的腔室为一个密闭的超高真空环境，真空度要达到10^-5Pa量级。但在聚变装置真空室的制造、窗口设备安装、及装置实验过程，由于真空室壳体材料的缺陷、窗口设备的安装偏差、实验中电磁力或等离子体破裂的影响会造成真空室本体及连接组件出现微小漏气点，这直接会影响聚变装置正常的等离子体放电实验，造成聚变装置停止运行。如果漏气点不断增大，将会对聚变装置周围的真空设备及诊断设备造成物理性破坏。因而发展与运用有效的真空检漏系统与检漏方法是当前托卡马克等离子体工程研究的重点之一，也是下一代大型磁约束装置工程设计、安全运行、安全防护的工程基础之一和必须解决的问题。

因此需要提供一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具，以解决现有技术存在的不足。

实用新型内容

本实用新型目的是针对上述现有技术的不足提供一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具，以便快速的查找出聚变反应装置真空室上出现的微小漏气点，以防止对聚变装置周围的真空设备及诊断设备造成物理性破坏。

本实用新型的技术方案是：

一种适用于核聚变反应装置的真空氦检漏工具，该真空氦检漏工具包括主抽气系统、前级抽气系统、氦质谱检漏仪、主抽气支路、粗真空抽气支路和前级抽气支路；

主抽气系统包括主抽气支路，主抽气支路包括超高真空气动插板阀V1-1、涡轮分子泵P1-1、高真空气动挡板阀V4-1，超高真空气动插板阀V1-1的前端和真空室连接，超高真空气动插板阀V1-1的后端与涡轮分子泵P1-1、高真空气动挡板阀V4-1依次连接；

前级抽气系统包括粗真空抽气支路和前级抽气支路，前级抽气支路的超高真空气动插板阀V2-1的前端和主抽气支路高真空气动挡板阀V4-1的后端连接，粗真空抽气支路的超高真空气动插板阀V3-1、V3-2和主抽气支路高真空气动挡板阀V4-1的后端连接；

氦质谱检漏仪与前级抽气支路连接。

所述的主抽气支路中超高真空气动插板阀V1-1的前端通过超高真空金属密封法兰与真空室连接，后端通过超高真空氟橡胶密封法兰与涡轮分子泵P1-1进气口连接，涡轮分子泵P1-1的出气口通过超高真空氟橡胶密封法兰与高真空气动挡板阀V4-1前端连接。

所述的粗真空抽气支路中两台超高真空气动插板阀V3-1、V3-2的前端分别与高真空气动挡板阀V4-1的后端相连，超高真空气动插板阀V3-1、V3-2的后端分别与两台罗茨真空泵P4-1、P4-2进气口连接，罗茨真空泵P4-1、P4-2出气口分别连接旋片泵P5-1、P5-2。

所述的前级抽气支路的超高真空气动插板阀V2-1的前端与主抽气支路高真空气动挡板阀V4-1的后端连接，超高真空气动插板阀V2-1的后端与涡轮分子泵P3-1连接，分子泵P3-1出气口连接到真空腔室C1-1，真空腔室C1-1的另一端通过高真空气动挡板阀V6-5、V6-6分别与直联泵P6-1、P6-2进气口连接。

所述的氦质谱检漏仪通过高真空挡板阀V6-1与真空腔体C1-1相连。

所述的前级抽气支路有若干个。