[实用新型]一种半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销有效
| 申请号： | 202021504071.2 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN212587472U | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 李得平;王虎斌;黄中山;张建锐 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 俞晨波 |
| 地址： | 315100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 铝制 加热器 盖板 陶瓷 提升 | ||
1.一种半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销，其特征在于：包括：盖板本体(1)，所述盖板本体(1)的内部设有锥形结构的销孔(5)且盖板本体(1)的下部设有加热器(6)，所述销孔(5)延伸至加热器(6)内部且销孔(5)内部设有限位挡圈(7)，所述销孔(5)内安装有提升销本体(2)且提升销本体(2)由销帽(3)和销杆(4)组成，所述销帽(3)呈圆锥形结构设置且销杆(4)呈圆柱形结构设置，所述销帽(3)与销杆(4)之间一体成型且销帽(3)两侧的斜边与销孔(5)之间相互贴合，所述销杆(4)与限位挡圈(7)内部相互嵌合，所述销帽(3)的顶部外壁直径大于销杆(4)的外壁直径。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销，其特征在于：所述销杆(4)和销帽(3)之间均采用陶瓷材质制成且销帽(3)与销杆(4)的连接处平滑过渡一体成型。
3.根据权利要求2所述的一种半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销，其特征在于：所述销杆(4)的直径与销帽(3)的底部直径相同。
4.根据权利要求3所述的一种半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销，其特征在于：所述销帽(3)的顶面直径为3.5-3.8mm且底面直径为3.1-3.2mm，所述销杆(4)的外壁直径为3.1-3.2mm，所述销杆(4)的长度为80mm。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
