[实用新型]一种砷化镓晶种加工设备

权利要求书

1.一种砷化镓晶种加工设备，包括防尘箱(1)，其特征在于，所述防尘箱(1)内壁底部的一侧固定设有导流台(2)，所述导流台(2)转动连接设有传动轴(3)，所述传动轴(3)的一端固定设有打磨盘(4)，所述传动轴(3)远离打磨盘(4)的一端依次贯穿导流台(2)和防尘箱(1)并固定设有减速电机(5)，所述减速电机(5)与防尘箱(1)固定连接，所述防尘箱(1)上表面的中间设有滑槽(6)，所述滑槽(6)的内壁滑动连接设有移动座(7)，所述防尘箱(1)的上表面固定设有使移动座(7)产生位移的驱动组件(8)，所述移动座(7)下表面的中间固定设有电动液压缸(9)，所述电动液压缸(9)远离移动座(7)的一端固定设有调节固定座(10)，所述调节固定座(10)与移动座(7)之间对称固定设有导向伸缩柱(11)，所述调节固定座(10)转动连接设有调节轴(12)，所述调节轴(12)的一端固定设有步进电机(13)，所述步进电机(13)与调节固定座(10)固定连接，所述调节轴(12)固定设有调节座(14)，所述调节座(14)的下表面固定设有夹具组件(15)。

2.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶种加工设备，其特征在于，所述防尘箱(1)下表面的一侧固定设有U形支撑座(16)，所述防尘箱(1)下表面远离U形支撑座(16)的一侧固定设有导流管道(17)，所述防尘箱(1)内壁底部远离导流台(2)的一侧设有与导流管道(17)相连通的贯穿孔(18)，所述U形支撑座(16)和导流管道(17)的下表面固定设有储水箱(19)，所述导流管道(17)插接设有过滤组件(20)，所述储水箱(19)的一侧固定设有出水管(21)，所述出水管(21)远离储水箱(19)的一端固定设有循环水泵(22)，所述循环水泵(22)与防尘箱(1)固定连接，所述循环水泵(22)的出水口固定设有喷水管(23)，所述喷水管(23)远离循环水泵(22)的一端贯穿防尘箱(1)延伸至防尘箱(1)的内部并固定设有喷头(24)。

3.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶种加工设备，其特征在于，所述驱动组件(8)包括两个固定块(803)，所述固定块(803)均与防尘箱(1)固定连接，两个所述固定块(803)转动连接设有螺纹丝杆(802)，所述螺纹丝杆(802)的一端贯穿固定块(803)并固定设有驱动电机(801)，所述驱动电机(801)与固定块(803)固定连接，所述螺纹丝杆(802)的表面螺纹连接设有移动块(804)，所述移动块(804)与移动座(7)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶种加工设备，其特征在于，所述防尘箱(1)对称通过铰链转动连接设有箱门(25)，所述箱门(25)均固定设有观察罩(26)。