[实用新型]一种砷化镓晶种加工设备有效

专利信息
申请号: 202021507926.7 申请日: 2020-07-27
公开(公告)号: CN212705981U 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 郭辉;刘欣;蔡祗首;杨涛 申请(专利权)人: 惠州市中惠宇航半导体新材料有限公司
主分类号: B24B19/22 分类号: B24B19/22;B24B41/06;B24B47/22;B24B55/06;B24B55/12
代理公司: 广州市红荔专利代理有限公司 44214 代理人: 余志军
地址: 516000 广东省惠州市仲恺高新区陈*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 砷化镓晶种 加工 设备
【说明书】:

实用新型涉及砷化镓生产技术领域,尤其是一种砷化镓晶种加工设备,包括防尘箱,所述防尘箱固定设有导流台,所述导流台转动连接设有传动轴,所述传动轴固定设有打磨盘,所述传动轴固定设有减速电机,所述滑槽滑动连接设有移动座,所述移动座固定设有电动液压缸,所述电动液压缸固定设有调节固定座,所述调节固定座转动连接设有调节轴,所述调节轴固定设有步进电机,所述调节轴固定设有调节座,所述调节座固定设有夹具组件。本实用新型在普通加工设备的基础上,设置了防护、驱动和调节装置,提高了精确度、工作效率、环保性和防护性,具有广阔的市场前景,适合推广。

技术领域

本实用新型涉及砷化镓生产技术领域,尤其涉及一种砷化镓晶种加工设备。

背景技术

砷化镓(galliumarsenide),化学式GaAs。黑灰色固体,熔点1238℃。它在600℃以下,能在空气中稳定存在,并且不被非氧化性的酸侵蚀。砷化镓是一种重要的半导体材料。在砷化镓晶体制造领域,晶种在初步加工完成后,还需要对晶种长度进一步加工以达到目标长度,但是,目前通常是使用手工砂纸打磨不仅效率低,而且打磨出的废料容易形成粉尘,不仅造成浪费,还危害工人身体,针对以上不足,我们推出一种砷化镓晶种加工设备,来代替旧式的加工设备,满足人们的生活需求。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在效率低和不环保的缺点,而提出的一种砷化镓晶种加工设备。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

设计一种砷化镓晶种加工设备,包括防尘箱,所述防尘箱内壁底部的一侧固定设有导流台,所述导流台转动连接设有传动轴,所述传动轴的一端固定设有打磨盘,所述传动轴远离打磨盘的一端依次贯穿导流台和防尘箱并固定设有减速电机,所述减速电机与防尘箱固定连接,所述防尘箱上表面的中间设有滑槽,所述滑槽的内壁滑动连接设有移动座,所述防尘箱的上表面固定设有使移动座产生位移的驱动组件,所述移动座下表面的中间固定设有电动液压缸,所述电动液压缸远离移动座的一端固定设有调节固定座,所述调节固定座与移动座之间对称固定设有导向伸缩柱,所述调节固定座转动连接设有调节轴,所述调节轴的一端固定设有步进电机,所述步进电机与调节固定座固定连接,所述调节轴固定设有调节座,所述调节座的下表面固定设有夹具组件。

优选的,所述防尘箱下表面的一侧固定设有U形支撑座,所述防尘箱下表面远离U形支撑座的一侧固定设有导流管道,所述防尘箱内壁底部远离导流台的一侧设有与导流管道相连通的贯穿孔,所述U形支撑座和导流管道的下表面固定设有储水箱,所述导流管道插接设有过滤组件,所述储水箱的一侧固定设有出水管,所述出水管远离储水箱的一端固定设有循环水泵,所述循环水泵与防尘箱固定连接,所述循环水泵的出水口固定设有喷水管,所述喷水管远离循环水泵的一端贯穿防尘箱延伸至防尘箱的内部并固定设有喷头。

优选的,所述驱动组件包括两个固定块,所述固定块均与防尘箱固定连接,两个所述固定块转动连接设有螺纹丝杆,所述螺纹丝杆的一端贯穿固定块并固定设有驱动电机,所述驱动电机与固定块固定连接,所述螺纹丝杆的表面螺纹连接设有移动块,所述移动块与移动座固定连接。

优选的,所述防尘箱对称通过铰链转动连接设有箱门,所述箱门均固定设有观察罩。

本实用新型提出的一种砷化镓晶种加工设备,有益效果在于:本实用新型通过防尘箱、导流台、导流管道、贯穿孔、储水箱、过滤组件、出水管、循环水泵、喷水管和喷头之间的相互配合,可以有效的防止砷化镓晶种在进行打磨时粉尘飞溅的现象,同时可以循环使用水资源,环保性能较佳,通过传动轴、打磨盘、减速电机、滑槽、移动座、驱动组件、电动液压缸、调节固定座、导向伸缩柱、调节轴、步进电机、调节座和夹具组件之间的相互配合,在提高了打磨精确度的同时可以根据需要控制打磨角度,降低了工作人员的劳动强度提高了工作效率,通过设置观察罩,便于工作人员对打磨情况进行实时观察。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种砷化镓晶种加工设备的主视图;

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